等離子Parylene派瑞林鍍膜集成系統是一種適用于低壓環(huán)境下最復雜涂布工藝的機器人驅動多腔室系統,，是集成等離子的清洗與聚合系統。該廣泛應用于多個行業(yè),，包括航天航空,、半導體、新能源,、軍工,、汽車、手機,、新型顯示,、電子元器件、光通訊,、軌道交通,、3C數碼及電子等領域。通過Parylene涂敷后的產品具有高度的絕緣強度,、耐高低溫,、抗腐蝕、耐酸堿,、潤滑,、防塵,、防水、防潮,、防銹,、透明、抗老化,、生物相容性等作用,。

PPS所提供的Parylene 派瑞林真空鍍膜系統具有以下優(yōu)勢：
       1、在真空腔體中集成等離子源
       2,、兼容超凈間的系統設計
       3,、經過驗證且具有完整可塑性的生產流程
       4、可以提供從定制化的涂覆系統和量身定制的工藝開發(fā),，到全面的耗材,、備件供應以及長期的技術支持服務

等離子Parylene派瑞林鍍膜集成系統Cluster System

我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設備既有適用于科研領域的實驗型機型,，也有適用于工業(yè)量產領域的工業(yè)機型,。同時，我們也可以根據需求在真空腔體中集成等離子源,，實現在沉積之前能夠對基材進行表面化處理,，從而提高薄膜的粘附性。另外,，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統設計,，在小占地面積下提供高性能技術，節(jié)約大量的超凈間占地空間,。

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