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Serie 3000 Standard Parylene派瑞林真空鍍膜機(jī)
- 公司名稱 那諾中國(guó)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) Serie 3000 Standard
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/6/30 17:17:28
- 訪問(wèn)次數(shù) 82
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ALD,,PECVD,RIE,,磁控濺射,,熱蒸鍍,,電子束,離子束,,晶圓清洗機(jī),,PA-MOCVD,飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)
Parylene派瑞林真空鍍膜機(jī)Serie 3000 Standard專為工業(yè)級(jí)應(yīng)用設(shè)計(jì),,是一款經(jīng)過(guò)全面驗(yàn)證的成熟設(shè)備,,能夠滿足大規(guī)模及高要求的生產(chǎn)任務(wù)。通過(guò)Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度,、耐高低溫、抗腐蝕,、耐酸堿,、潤(rùn)滑、防塵,、防水,、防潮、防銹,、透明,、抗老化、生物相容性等作用,。
作為標(biāo)準(zhǔn)配置機(jī)型,,其包含 2000 系列(無(wú)等離子體功能)與 3000 系列(支持等離子體處理)兩大產(chǎn)品線。模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與可調(diào)節(jié)腔室尺寸的特性,,使該經(jīng)過(guò)嚴(yán)格驗(yàn)證的生產(chǎn)設(shè)備在生產(chǎn)與涂層工藝中獨(dú)ju特色,。該系統(tǒng)專為工業(yè)級(jí)應(yīng)用環(huán)境開(kāi)發(fā);通過(guò)擴(kuò)展腔體容量可有效滿足大規(guī)模及高要求的生產(chǎn)任務(wù),。
Parylene派瑞林真空鍍膜機(jī)Serie 3000 Standard:
尺寸 | L:2095mm W:800mm H:1450mm |
重量 | 300kg |
腔體容量 | 140/200/300/600/750/800/1000 L |
工藝腔體 | 500mm ?,,H: 700mm (140 L) 600mm ?,H: 700mm (200 L) 700mm ?,,H: 800mm (300 L) |
等離子源 | 2.45GHz, 1200 W |
氣路 | 1 路氣體通道(內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)),,最多可擴(kuò)展至 3 路氣體通道。 |
冷卻系統(tǒng) | 8L(機(jī)電式冷阱) |
真空連接 | DIN 40 ISO-KF |
排氣 | 電磁式排氣閥 |
真空泵 | 75m3/h |
電氣連接 | 三相五線制,,交流 50 Hz,,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW |
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