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Serie 3000 Standard Parylene派瑞林真空鍍膜機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾中國(guó)有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) Serie 3000 Standard
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/6/30 17:17:28
  • 訪問(wèn)次數(shù) 82

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那諾中國(guó)有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國(guó)大陸,、香港、澳門(mén)和中國(guó)臺(tái)灣)的高校,、科研院所,、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機(jī)構(gòu)提供高性能、高性價(jià)比,、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測(cè)儀器,。


那諾中國(guó)提供美國(guó)那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備(包含磁控濺射、熱蒸鍍,、電子束,、PECVD、ALD,、PA-MOCVD,、RIE、離子束,、DRIE,、晶圓兆聲清洗機(jī)等)。


那諾中國(guó)提供英國(guó)KORE基于飛行時(shí)間的質(zhì)譜儀,,包含飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS),、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)(PTR)質(zhì)譜儀、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等,。





ALD,,PECVD,RIE,,磁控濺射,,熱蒸鍍,,電子束,離子束,,晶圓清洗機(jī),,PA-MOCVD,飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

Parylene派瑞林真空鍍膜機(jī)Serie 3000 Standard專為工業(yè)級(jí)應(yīng)用設(shè)計(jì),,是一款經(jīng)過(guò)全面驗(yàn)證的成熟設(shè)備,,能夠滿足大規(guī)模及高要求的生產(chǎn)任務(wù)。通過(guò)Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度,、耐高低溫、抗腐蝕,、耐酸堿,、潤(rùn)滑、防塵,、防水,、防潮、防銹,、透明,、抗老化、生物相容性等作用,。


Parylene派瑞林真空鍍膜機(jī)

作為標(biāo)準(zhǔn)配置機(jī)型,,其包含 2000 系列(無(wú)等離子體功能)與 3000 系列(支持等離子體處理)兩大產(chǎn)品線。模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與可調(diào)節(jié)腔室尺寸的特性,,使該經(jīng)過(guò)嚴(yán)格驗(yàn)證的生產(chǎn)設(shè)備在生產(chǎn)與涂層工藝中獨(dú)ju特色,。該系統(tǒng)專為工業(yè)級(jí)應(yīng)用環(huán)境開(kāi)發(fā);通過(guò)擴(kuò)展腔體容量可有效滿足大規(guī)模及高要求的生產(chǎn)任務(wù),。


Parylene派瑞林真空鍍膜機(jī)Serie 3000 Standard:

尺寸
               
L:2095mm  W:800mm  H:1450mm
重量
               
300kg
腔體容量
               
140/200/300/600/750/800/1000 L
工藝腔體
               

500mm ?,,H: 700mm (140 L)

600mm ?,H: 700mm (200 L)

700mm ?,,H: 800mm (300 L)

等離子源
               
2.45GHz, 1200 W
氣路1 路氣體通道(內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)),,最多可擴(kuò)展至 3 路氣體通道。
冷卻系統(tǒng)
               
8L(機(jī)電式冷阱)
真空連接
               
DIN 40 ISO-KF
排氣
               
電磁式排氣閥
真空泵
               
75m3/h
電氣連接三相五線制,,交流 50 Hz,,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW


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