PCVD工藝的具體流程

來源：上海添時科學(xué)儀器有限公司 2024年09月26日 09:54

PECVD等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積是一種利用等離子體來促進(jìn)氣體反應(yīng)的CVD技術(shù),。其特點包括：

1,、低溫沉積：PECVD可以在較低的基材溫度下進(jìn)行,，因為等離子體提供的能量能夠促進(jìn)氣體反應(yīng),，降低沉積溫度的需求。

2,、高沉積速率：等離子體增強(qiáng)了氣體反應(yīng)速率,，從而提高了薄膜沉積速率。

3,、良好的膜質(zhì)量：PECVD沉積的薄膜通常具有較好的均勻性和較低的缺陷密度,，適用于需要高質(zhì)量薄膜的應(yīng)用。

4,、適應(yīng)性強(qiáng)：可以沉積多種材料,，包括氧化物、氮化物和氟化物等,，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光電器件和保護(hù)涂層等領(lǐng)域。

5,、控制性好：通過調(diào)整等離子體的參數(shù)（如功率,、氣體流量和壓力），可以精確控制薄膜的成分和性質(zhì)。

PCVD工藝的流程：

(1)沉積,。沉積過程借助低壓等離子體使流進(jìn)高純度石英玻璃沉積管內(nèi)的氣態(tài)鹵化物和氧氣在1000℃以上的高溫條件下直接沉積成設(shè)計要求的光纖芯中玻璃的組成成分,。

(2)熔縮。沿管子方向往返移動的石墨電阻爐對小斷旋轉(zhuǎn)的管子加熱到大約2200℃,，在表面張力的作用下,，分階段將沉積好的石英管熔縮成一根實心棒(預(yù)制棒)。

(3)套棒,。為獲得光纖芯層與包層材料的適當(dāng)比例,，將熔縮后的石英棒套入一根截面積經(jīng)過精心挑選的管子中，這樣裝配后即可進(jìn)行拉絲,。

(4)拉絲,。套棒被安裝在拉絲塔的頂部，下端緩緩放入約2100℃的高溫爐中,，此端熔化后被拉成所需包層直徑的光纖(通常為125 cm),，并進(jìn)行雙層涂覆和紫外固化。

(5)光纖測試,。拉出的光纖要經(jīng)過各種試,，以確定光纖的幾何、光學(xué)和機(jī)械性能,。

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