C2GR16-立式氣相沉積爐
- 公司名稱 上海皓越真空設(shè)備有限公司
- 品牌 HAOYUE/皓越
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/1/17 14:06:42
- 訪問(wèn)次數(shù) 977
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上海皓越真空設(shè)備有限公司（簡(jiǎn)稱皓越科技）是一家集研發(fā),、生產(chǎn),、銷售電爐為一體的高新技術(shù)企業(yè),。公司地處中國(guó)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)上海，已擁有大型現(xiàn)代化標(biāo)準(zhǔn)廠房,，成套的加工設(shè)備,，完善的質(zhì)量檢測(cè)體系；匯萃了一批長(zhǎng)期從事熱處理爐,、真空爐及特種爐制造和服務(wù)的技術(shù)精英,，其中，研究生,、本科以上學(xué)歷的工程技術(shù)人員26人,，技術(shù)工人65余人的精英團(tuán)隊(duì)，具備年產(chǎn)200套熱處理爐,、60套大型真空爐的生產(chǎn)能力,。并與上海復(fù)旦大學(xué)、上海同濟(jì)大學(xué)建立了長(zhǎng)期友好的科技合作與人才培養(yǎng)基地,。
公司一直專注于半導(dǎo)體材料,、碳材料、先進(jìn)陶瓷及復(fù)合材料和鋰電材料四大領(lǐng)域,，積累了豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和技術(shù),，竭誠(chéng)服務(wù)于客戶，提供完善的一體式產(chǎn)業(yè)解決方案,。
在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域,，皓越科技致力為客戶提供晶體生長(zhǎng)設(shè)備和高溫退火設(shè)備，適用于藍(lán)寶石,、碳化硅、氮化鎵和氮化鋁晶體的生長(zhǎng)和退火,。還推出氧化/擴(kuò)散爐,、LPCVD/PECVD等薄膜生長(zhǎng)摻雜設(shè)備以及晶圓快速熱處理RTP設(shè)備。
在碳材料領(lǐng)域,，皓越科技擁有提供石墨烯,、碳納.米管的CVD及PECVD成套生長(zhǎng)系統(tǒng)，并提供金剛石工具生產(chǎn)用真空爐和熱壓爐,，以及碳材料用高溫石墨化爐等,。
在鋰電材料領(lǐng)域，我們?yōu)榭蛻籼峁┻B續(xù)正極材料生產(chǎn)窯爐,，有輥道窯,、推板窯等，以及用于負(fù)極材料生產(chǎn)用真空爐等,。
在陶瓷基復(fù)合材料領(lǐng)域,，擁有碳化硅陶瓷的無(wú)壓燒結(jié),、反應(yīng)燒結(jié)和重結(jié)晶燒結(jié)設(shè)備，氮化硅粉體合成爐以及陶瓷制品燒結(jié)爐,，碳化硼陶瓷熱壓燒結(jié)爐等,。
上海皓越真空設(shè)備有限公司所提供的產(chǎn)品技術(shù)先進(jìn)，質(zhì)量可靠,，品種齊全,。公司成立以來(lái)在市場(chǎng)上巳獲得用戶認(rèn)可，其產(chǎn)品質(zhì)量及服務(wù)獲得用戶的肯定,，我們的優(yōu)勢(shì)不僅體現(xiàn)在高精度的溫度控制領(lǐng)域,，更多的是我們?cè)诠に嚒⒄婵?，自?dòng)化控制及計(jì)算機(jī)溫度分析系統(tǒng)有杰出的人才,。
皓越人的愿景：成為新材料、新能源熱處理領(lǐng)域,。
皓越人的使命：推動(dòng)新材料,、新能源領(lǐng)域的快速發(fā)展；為新材料,、新能源行業(yè)提供熱處理解決方案,。
皓越人的價(jià)值觀：
客戶為天：一切技術(shù)創(chuàng)新和服務(wù)理念均以客戶的需求為導(dǎo)向，我們堅(jiān)持以客戶為主要,，持續(xù)為客戶創(chuàng)造價(jià)值,，積極、快速的響應(yīng)客戶需求,。為客戶提供服務(wù),，是我們的工作方向和價(jià)值*，成就客戶就是成就我們自己,。
誠(chéng)信為本：只有堅(jiān)持誠(chéng)信為本,，才能言出必行，信守承諾,。誠(chéng)信是我們很重要的無(wú)形資產(chǎn),，皓越人堅(jiān)持以誠(chéng)信贏得客戶。
創(chuàng)新為先：為了更好的滿足客戶需求,，我們需要積極進(jìn)取,、勇于開(kāi)拓與創(chuàng)新。任何先進(jìn)的技術(shù),、產(chǎn)品,、解決方案只有轉(zhuǎn)化為商業(yè)成功才能產(chǎn)生價(jià)值。我們堅(jiān)持以客戶需求為導(dǎo)向,，并圍繞客戶需求持續(xù)創(chuàng)新,。
合作為贏：為了實(shí)現(xiàn)客戶需求,，除了持續(xù)創(chuàng)新，我們還要與供應(yīng)商,、合作商密切合作,，只有合作才能實(shí)現(xiàn)雙贏，合作是提升流程效率的有力保障,。
發(fā)展為道：一切努力與奮斗,，為了發(fā)展，我們成就了客戶,，自身也在發(fā)展,。發(fā)展是硬道理，只有持續(xù)發(fā)展,，我們與客戶才能攜手進(jìn)步,，員工與企業(yè)才能實(shí)現(xiàn)夢(mèng)想。
皓越人的行為準(zhǔn)則：
三大作風(fēng)：認(rèn)真,，快,，堅(jiān)守承諾；
一個(gè)目標(biāo)：客戶滿意100,；
一個(gè)保證：保證完成任務(wù),。
皓越選人用人理念：
用對(duì)人，做對(duì)事,！得人才者得天下,！一切競(jìng)爭(zhēng)，歸根結(jié)底是人才競(jìng)爭(zhēng),。選人用人,，關(guān)乎皓越的成敗,；把合適的人放在合適的崗位上,。
箱式電阻爐,真空管式爐,箱式氣氛爐,真空電阻爐,真空碳管爐,真空熱壓爐等
一、設(shè)備基本原理與特點(diǎn)
1.基本原理：
熱誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積(英語(yǔ):chemical vapor deposition ,CVD)是用于各種電介質(zhì),半導(dǎo)體和金屬材料的保護(hù)涂層的沉積的有力方式,，無(wú)論是單晶，多晶,，無(wú)定形或外延狀態(tài)上或大或小的形態(tài),。典型的涂層材料包括熱解碳，碳化硅,，氮化硼,。通過(guò)使用合成前體，涂層非常純凈并目滿足半導(dǎo)體工業(yè)的典型要求,，根據(jù)工藝參數(shù),，可以有多種層厚度,，從單個(gè)或幾個(gè)原子層到厚度從10納米到數(shù)百微米的固體保護(hù)層或功能層，以及厚度達(dá)100微米的單片部件,，甚至高達(dá)數(shù)毫米,。
2.設(shè)備特點(diǎn)：
（1）采用臥式、側(cè)開(kāi)門結(jié)構(gòu),，裝,、卸料精度高，操作方便,；
（2）采用先進(jìn)的控制技術(shù),，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,，壓力波動(dòng)范圍?。?br/>（3）溫度均勻性好,，平均溫度均勻性為±5℃,；
（4）采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻,，無(wú)沉積死角,，沉積效果好；
（5）全封閉沉積室,，密封效果好,，抗污染能力強(qiáng)；
（6）安全性能好,，采用HMI+PLC+PID程序控制,，安全可靠；
（7）對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣,、易燃易爆氣體,、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理；
（8）多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),，環(huán)境友好,，能高效收集焦油及副產(chǎn)物，易清理,；
（9）采用設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組,，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率極低,。
二,、C2GR16-立式氣相沉積爐(主要技術(shù)參數(shù)：
| 1 | 編號(hào) | C2GR16 |
| 2 | 產(chǎn)品型號(hào) | VHCgr-20/20/30-1600 |
| 3 | 最高設(shè)計(jì)溫度（℃） | 1600 |
| 4 | 加熱元件 | 等靜壓石墨 |
| 5 | 加熱功率（kW） | 45 |
| 6 | 冷態(tài)極限真空度（Pa） | 6.7x10-3Pa（空爐、冷態(tài),、經(jīng)凈化） |
| 7 | 測(cè)溫元件 | 鎢錸熱電偶 |
| 8 | 升溫速率 | 1~20℃/min |
| 9 | 溫度均勻性 | ±5℃（5點(diǎn)測(cè)溫,，恒溫區(qū)1000℃保溫1h后檢測(cè)） |
| 10 | 爐膛尺寸（mm） | 200x200x300（WxHxD） |
| 11 | 可通入氣氛 | 1路CH3SiCI3,、1路氨氣、1路氫氣,、1路氮?dú)?/td> |
| 12 | 氣氛流量計(jì) | 4路質(zhì)量流量計(jì) |
| 13 | 設(shè)備外形尺寸（mm） | 1425x1550x1850mm(LxWxH) |
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