C2GR16-立式氣相沉積爐
- 公司名稱 上海皓越真空設(shè)備有限公司
- 品牌 HAOYUE/皓越
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/1/17 14:06:42
- 訪問次數(shù) 773
聯(lián)系方式:姚經(jīng)理13917898272 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!
一,、設(shè)備基本原理與特點(diǎn)
1.基本原理:
熱誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積(英語:chemical vapor deposition ,CVD)是用于各種電介質(zhì),半導(dǎo)體和金屬材料的保護(hù)涂層的沉積的有力方式,無論是單晶,,多晶,,無定形或外延狀態(tài)上或大或小的形態(tài)。典型的涂層材料包括熱解碳,,碳化硅,,氮化硼。通過使用合成前體,涂層非常純凈并目滿足半導(dǎo)體工業(yè)的典型要求,,根據(jù)工藝參數(shù),,可以有多種層厚度,從單個或幾個原子層到厚度從10納米到數(shù)百微米的固體保護(hù)層或功能層,,以及厚度達(dá)100微米的單片部件,,甚至高達(dá)數(shù)毫米。
2.設(shè)備特點(diǎn):
(1)采用臥式,、側(cè)開門結(jié)構(gòu),,裝、卸料精度高,,操作方便,;
(2)采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制MTS的流量和壓力,,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,,壓力波動范圍小,;
(3)溫度均勻性好,,平均溫度均勻性為±5℃;
(4)采用多通道沉積氣路,,流場均勻,,無沉積死角,沉積效果好,;
(5)全封閉沉積室,,密封效果好,抗污染能力強(qiáng),;
(6)安全性能好,,采用HMI+PLC+PID程序控制,,安全可靠,;
(7)對沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體,、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理,;
(8)多級高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,,能高效收集焦油及副產(chǎn)物,,易清理;
(9)采用設(shè)計防腐蝕真空機(jī)組,,持續(xù)工作時間長,,維修率極低。
二、C2GR16-立式氣相沉積爐(主要技術(shù)參數(shù):
1 | 編號 | C2GR16 |
2 | 產(chǎn)品型號 | VHCgr-20/20/30-1600 |
3 | 最高設(shè)計溫度(℃) | 1600 |
4 | 加熱元件 | 等靜壓石墨 |
5 | 加熱功率(kW) | 45 |
6 | 冷態(tài)極限真空度(Pa) | 6.7x10-3Pa(空爐,、冷態(tài),、經(jīng)凈化) |
7 | 測溫元件 | 鎢錸熱電偶 |
8 | 升溫速率 | 1~20℃/min |
9 | 溫度均勻性 | ±5℃(5點(diǎn)測溫,恒溫區(qū)1000℃保溫1h后檢測) |
10 | 爐膛尺寸(mm) | 200x200x300(WxHxD) |
11 | 可通入氣氛 | 1路CH3SiCI3,、1路氨氣,、1路氫氣、1路氮?dú)?/td> |
12 | 氣氛流量計 | 4路質(zhì)量流量計 |
13 | 設(shè)備外形尺寸(mm) | 1425x1550x1850mm(LxWxH) |