FPCHE-CVD 獨立式化學氣相沉積(CVD)系統(tǒng)
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 FPCHE-CVD
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2022/7/26 10:41:58
- 訪問次數(shù) 947
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領(lǐng)域 | 化工,電氣,綜合 |
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獨立式化學氣相沉積(CVD)系統(tǒng)是一個易于使用的系統(tǒng),,用于均勻沉積薄膜材料,,包括半導體、碳化硅(SiC),、金屬基板上的氧化物,、碳化物、氮化物等,。得到的薄膜表現(xiàn)出優(yōu)異的均勻性和良好的階梯覆蓋,。化學氣相沉積(CVD)系統(tǒng)也可用于合成納米材料,例如碳納米管,,石墨烯,、半導體納米線。
獨立式化學氣相沉積(CVD)系統(tǒng)包括一個具有長均勻加熱區(qū)的CVD爐,、一個混合氣體模塊由質(zhì)量流量計和真空模塊控制,。系統(tǒng)連接器使用不銹鋼法蘭和高溫O形密封圈密封。爐子在滑動導軌便于移動,,便于快速冷卻,。氣體模塊最多可混合三種氣體由質(zhì)量流量計監(jiān)測的源。配備兩級旋轉(zhuǎn)式/分子真空泵,,系統(tǒng)真空可達,。
金屬、半導體和介電材料至關(guān)重要電子設備組件(如高效太陽能電池板,、存儲系統(tǒng),、計算機芯片和各種高性能工具)通常通過化學方法制造氣相沉積?;瘜W前體在這些方面起著非常關(guān)鍵的作用器件制造和Chemat提供了廣泛的高純度CVD用于這些應用的前體,。這些前體是包裝在不銹鋼氣泡中,可輕松連接到化學氣相沉積系統(tǒng),??捎玫那绑w有制造金屬的金屬醇鹽、烷基酰胺和乙酰丙酮氧化物,、氮化物和金屬,。
獨立式化學氣相沉積(CVD)系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
爐子部分
最大溫度:1200℃
加熱區(qū)域:270mm
均勻加熱區(qū)域:100mm
石英管直徑:40/60/80/100mm可選
石英管長度:1000mm
滑軌長度:820mm
氣體混合模塊
氣源:3個
氣源控制:質(zhì)量流量計
范圍:0-1 SLM
真空模塊
真空:旋轉(zhuǎn)/分子 2級泵
最大真空:6x10^-3 Pa
真空顯示:數(shù)字