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Series 3000 LV 600/700 派瑞林parylene鍍膜設(shè)備
- 公司名稱 那諾中國有限公司
- 品牌
- 型號 Series 3000 LV 600/700
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/1 14:52:18
- 訪問次數(shù) 75
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派瑞林parylene鍍膜設(shè)備Series 3000 LV 600/700為派瑞淋涂覆系統(tǒng),廣泛應(yīng)用于多個行業(yè),,包括航天航空,、半導(dǎo)體,、新能源、軍工,、汽車,、手機、新型顯示,、電子元器件,、光通訊、軌道交通,、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域,。
Parylene System Series 3000 LV 600/700 是一款模塊化設(shè)計的系統(tǒng),主要由兩部分組成:腔室模塊與蒸發(fā)器模塊,。我們眾多設(shè)備均采用此類模塊化設(shè)計,,旨在確保系統(tǒng)的靈活性,從而能夠根據(jù)客戶需求對幾乎任何組件進行定制化調(diào)整,。其中,,“3000”代表產(chǎn)品系列,而“LV600/700”則用于標識機器腔室的尺寸規(guī)格,。該尺寸設(shè)計主要取決于您單次運行中需要涂覆的基板尺寸及數(shù)量要求,。 我們所提供的腔室最大容積可達 1000 升。此外,,該系統(tǒng)標配等離子源,,并可選配旋轉(zhuǎn)工作臺、加熱/冷卻臺以及多達 3 個質(zhì)量流量控制器,,以滿足不同氣體入口的需求,。
派瑞林parylene鍍膜設(shè)備Series 3000 LV 600/700
尺寸 | L:2400mm W:960mm H:1460mm |
重量 | 350kg |
腔體容量 | 600/700L |
工藝腔體 | 800mm? H: 1100mm (600 L) 800mm? H: 1300mm (700 L) |
等離子源 | 2.45GHz, 1200 W |
氣路 | 1 路氣體通道(內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)),最多可擴展至 3 路氣體通道,。 |
冷卻系統(tǒng) | 8L(機電式冷阱) |
真空連接 | DIN 63 ISO-KF |
排氣 | 電磁式排氣閥 |
真空泵 | 抽速75m3/h |
電氣連接 | 三相五線制,,交流 50 Hz,電壓 400 V / 240 V,,最大功率消耗 8.5 kW |
我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實驗型機型,,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機型。同時,,我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,,實現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M行表面化處理,從而提高薄膜的粘附性,。另外,,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計,在小占地面積下提供高性能技術(shù),節(jié)約大量的超凈間占地空間,。
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