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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設備>化學氣相沉積設備>Series 2000 旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設備

Series 2000 旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設備

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號 Series 2000
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/7/1 16:41:50
  • 訪問次數(shù) 68

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那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國大陸,、香港,、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所,、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機構提供高性能,、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設備及科學分析檢測儀器,。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設備(包含磁控濺射,、熱蒸鍍、電子束,、PECVD,、ALD,、PA-MOCVD、RIE,、離子束,、DRIE、晶圓兆聲清洗機等),。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質(zhì)譜儀,,包含飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(PTR)質(zhì)譜儀,、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等,。





ALD,PECVD,,RIE,,磁控濺射,熱蒸鍍,,電子束,,離子束,晶圓清洗機,,PA-MOCVD,,飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設備,采用旋轉(zhuǎn)滾筒設計,,專用于實現(xiàn)聚對二甲苯的均勻涂布,。設備結構緊湊,集成內(nèi)置泵與冷卻裝置,,適用于處理尺寸較小的基材,。


Parylene派瑞林真空鍍膜設備廣泛應用于多個行業(yè),包括航天航空,、半導體,、新能源、軍工,、汽車,、手機、新型顯示,、電子元器件,、光通訊、軌道交通,、3C數(shù)碼及電子等領域,。通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強度、耐高低溫,、抗腐蝕,、耐酸堿,、潤滑、防塵,、防水,、防潮、防銹,、透明,、抗老化、生物相容性等作用,。


旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設備

PPS 提供多樣化的定制化實驗室涂布設備,配備多種可選裝置與附加組件,,旨在確保涂層工藝的成功實施,、表面潔凈度以及涂層的均勻性和平滑性。我們的絕大多數(shù)系統(tǒng)均具備以下功能配置
   - 可定制腔體尺寸
   - 支持選配等離子體源
   - 配備冷卻系統(tǒng)及集成泵系統(tǒng)


旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設備Series 2000

尺寸
L:2600mm  W:960mm  H:1460mm
重量
200kg
腔體容量
80L
工藝腔體400mm ? ,,H: 600mm
氣路1 路氣體通道(內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)),,最多可擴展至 3 路氣體通道。
冷卻系統(tǒng)
4L(機電式冷阱)
真空連接
DIN 40 ISO-KF
排氣
電磁式排氣閥
真空泵
抽速50m3/h
電氣連接三相五線制,,交流 50 Hz,,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW


我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設備既有適用于科研領域的實驗型機型,,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領域的工業(yè)機型,。同時,我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,,實現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M行表面化處理,,從而提高薄膜的粘附性。另外,,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設計,,在小占地面積下提供高性能技術,節(jié)約大量的超凈間占地空間,。


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