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Labcoater Series 100 Parylene派瑞林鍍膜設(shè)備
- 公司名稱 那諾中國有限公司
- 品牌
- 型號(hào) Labcoater Series 100
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/6/30 16:34:00
- 訪問次數(shù) 58
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ALD,,PECVD,,RIE,,磁控濺射,熱蒸鍍,,電子束,,離子束,晶圓清洗機(jī),,PA-MOCVD,飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)
Parylene派瑞林鍍膜設(shè)備Labcoater Series 100是一款具備可更換工藝腔室的高性價(jià)比系統(tǒng),,廣泛應(yīng)用于航天航空,、半導(dǎo)體、新能源,、軍工、汽車,、手機(jī),、新型顯示、電子元器件,、光通訊,、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域,。通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度、耐高低溫,、抗腐蝕,、耐酸堿、潤滑,、防塵,、防水,、防潮,、防銹、透明,、抗老化,、生物相容性等作用。
該型號(hào)Parylene派瑞林鍍膜設(shè)備具有以下特點(diǎn):
1,、結(jié)構(gòu)緊湊、配有移動(dòng)式支架及小型冷阱,,安裝位置靈活,,便于實(shí)驗(yàn)室布局調(diào)整;
2,、特別適用于小批量生產(chǎn)及科研實(shí)驗(yàn)場景,;
3、可更換真空腔室設(shè)計(jì)有助于提升設(shè)備清潔效率,;
4、配備可拆卸透明上蓋,,便于實(shí)時(shí)觀察與基材更換操作,;
5、系統(tǒng)集成自動(dòng)工藝控制功能,,并支持網(wǎng)絡(luò)連接,,便于數(shù)據(jù)管理與遠(yuǎn)程監(jiān)控,。
Labcoater Series 100派瑞林真空鍍膜系統(tǒng):
尺寸 | L:850mm W:900mm H:1600mm |
重量 | 80kg |
腔體容量 | 30L |
工藝腔體 | 直徑300mm(其他尺寸可定制) |
冷卻系統(tǒng) | 4L(機(jī)電式冷阱) |
真空連接 | DIN 25 ISO-KF |
排氣 | 電磁式排氣閥 |
真空泵 | 抽速10m3/h |
電氣連接 | 三相五線制,交流 50 Hz,,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW |
我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜機(jī)既有適用于科研領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)型機(jī)型,,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機(jī)型,。同時(shí),我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,,實(shí)現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M(jìn)行表面化處理,,從而提高薄膜的粘附性。另外,,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計(jì),,在小占地面積下提供高性能技術(shù),,節(jié)約大量的超凈間占地空間,。
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