化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備>Series 3000 LV 800/1000 派瑞林parylene真空鍍膜設(shè)備
Series 3000 LV 800/1000 派瑞林parylene真空鍍膜設(shè)備
- 公司名稱 那諾中國有限公司
- 品牌
- 型號 Series 3000 LV 800/1000
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/1 15:32:38
- 訪問次數(shù) 76
parylene真空鍍膜設(shè)備parylene鍍膜設(shè)備派瑞林鍍膜設(shè)備派瑞林鍍膜機派瑞林真空鍍膜設(shè)備
聯(lián)系方式:吳運祥18916157635 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!
派瑞林parylene真空鍍膜設(shè)備Series 3000 LV 800/1000系統(tǒng)為派瑞淋涂覆系統(tǒng),,通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強度、耐高低溫,、抗腐蝕,、耐酸堿、潤滑,、防塵,、防水、防潮,、防銹,、透明、抗老化,、生物相容性等作用,。
Parylene System Series 3000 LV 800/1000是一款模塊化設(shè)計的系統(tǒng),主要由兩部分組成:腔室模塊與蒸發(fā)器模塊,。我們眾多設(shè)備均采用此類模塊化設(shè)計,,旨在確保系統(tǒng)的靈活性,從而能夠根據(jù)客戶需求對幾乎任何組件進行定制化調(diào)整,。其中,,“3000”代表產(chǎn)品系列,而“LV 800/1000”則用于標(biāo)識機器腔室的尺寸規(guī)格,。該尺寸設(shè)計主要取決于您單次運行中需要涂覆的基板尺寸及數(shù)量要求,。 我們所提供的腔室最大容積可達 1000 升。此外,,該系統(tǒng)標(biāo)配等離子源,,并可選配旋轉(zhuǎn)工作臺、加熱/冷卻臺以及多達 3 個質(zhì)量流量控制器,,以滿足不同氣體入口的需求,。
派瑞林parylene真空鍍膜設(shè)備Series 3000 LV 800/1000
尺寸 | L:2600mm W:960mm H:1460mm |
重量 | 450kg |
腔體容量 | 800/1000 L |
工藝腔體 | 1150mm ? H:600mm (800 L) 1000mm ? H:1100mm(1000L) |
等離子源 | 2.45GHz, 1200 W |
氣路 | 1 路氣體通道(內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)),最多可擴展至 3 路氣體通道。 |
冷卻系統(tǒng) | 8L(機電式冷阱) |
真空連接 | DIN 63 ISO-KF |
排氣 | 電磁式排氣閥 |
真空泵 | 抽速75m3/h |
電氣連接 | 三相五線制,,交流 50 Hz,,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW |
我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實驗型機型,,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機型,。同時,我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,,實現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M行表面化處理,,從而提高薄膜的粘附性。另外,,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計,,在小占地面積下提供高性能技術(shù),節(jié)約大量的超凈間占地空間,。
其他相關(guān)型號:
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
- Cluster system 等離子Parylene派瑞林鍍膜集成系統(tǒng)
- Series 2000 旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備
- Series 3000 CR 進口parylene派瑞林鍍膜設(shè)備
- Series 3000 LV 600/700 派瑞林parylene鍍膜設(shè)備
- Serie 3000 Standard Parylene派瑞林真空鍍膜機
- Labcoater Series 300 Parylene派瑞林鍍膜機
- Labcoater Series 100 Parylene派瑞林鍍膜設(shè)備
- Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備