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Series 3000 LV 800/1000 派瑞林parylene真空鍍膜設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號 Series 3000 LV 800/1000
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/7/1 15:32:38
  • 訪問次數(shù) 76

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那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國大陸,、香港、澳門和中國臺灣)的高校,、科研院所,、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機構(gòu)提供高性能、高性價比,、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測儀器,。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備(包含磁控濺射、熱蒸鍍,、電子束、PECVD,、ALD,、PA-MOCVD、RIE,、離子束,、DRIE、晶圓兆聲清洗機等),。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質(zhì)譜儀,,包含飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)(PTR)質(zhì)譜儀,、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等,。





ALD,,PECVD,RIE,,磁控濺射,,熱蒸鍍,電子束,,離子束,,晶圓清洗機,PA-MOCVD,,飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

派瑞林parylene真空鍍膜設(shè)備Series 3000 LV 800/1000系統(tǒng)為派瑞淋涂覆系統(tǒng),,通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強度、耐高低溫,、抗腐蝕,、耐酸堿、潤滑,、防塵,、防水、防潮,、防銹,、透明、抗老化,、生物相容性等作用,。


Parylene System Series 3000 LV 800/1000是一款模塊化設(shè)計的系統(tǒng),主要由兩部分組成:腔室模塊與蒸發(fā)器模塊,。我們眾多設(shè)備均采用此類模塊化設(shè)計,,旨在確保系統(tǒng)的靈活性,從而能夠根據(jù)客戶需求對幾乎任何組件進行定制化調(diào)整,。其中,,“3000”代表產(chǎn)品系列,而“LV 800/1000”則用于標(biāo)識機器腔室的尺寸規(guī)格,。該尺寸設(shè)計主要取決于您單次運行中需要涂覆的基板尺寸及數(shù)量要求,。  我們所提供的腔室最大容積可達 1000 升。此外,,該系統(tǒng)標(biāo)配等離子源,,并可選配旋轉(zhuǎn)工作臺、加熱/冷卻臺以及多達 3 個質(zhì)量流量控制器,,以滿足不同氣體入口的需求,。


派瑞林parylene真空鍍膜設(shè)備

派瑞林parylene真空鍍膜設(shè)備Series 3000 LV 800/1000

尺寸L:2600mm  W:960mm  H:1460mm
重量
450kg
腔體容量
800/1000 L
工藝腔體1150mm ? H:600mm (800 L)

1000mm ? H:1100mm(1000L)

等離子源
2.45GHz, 1200 W
氣路
1 路氣體通道(內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)),最多可擴展至 3 路氣體通道。
冷卻系統(tǒng)
8L(機電式冷阱)
真空連接
DIN 63 ISO-KF
排氣
電磁式排氣閥
真空泵
抽速75m3/h
電氣連接
三相五線制,,交流 50 Hz,,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW



我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實驗型機型,,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機型,。同時,我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,,實現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M行表面化處理,,從而提高薄膜的粘附性。另外,,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計,,在小占地面積下提供高性能技術(shù),節(jié)約大量的超凈間占地空間,。


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