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SURFTENS HL 200 晶圓接觸角測(cè)量?jī)x專為半導(dǎo)體工業(yè)及科研領(lǐng)域開(kāi)發(fā),,特別適用于硅片表面處理過(guò)程中的工藝控制。它是分析硅片接觸角與潤(rùn)濕性的理想工具,,能夠...
FLATSCAN 薄膜應(yīng)力測(cè)試儀用于對(duì)各種反射面(如硅片,、鏡面、X 射線鏡(Goebel-mirrors),、金屬表面或拋光聚合物)的平整度,、表面曲率、平均半徑和...
高精度金剛石晶圓劃片機(jī)MR 200 系統(tǒng)軟件的設(shè)置和硬件的配置能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的劃線,,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)結(jié)構(gòu)化硅片的精準(zhǔn)切割,。MR 200 是一款非常有力的工具,,尤其在半...
CMP后清洗機(jī)-單晶圓/掩膜版兆聲清洗:Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機(jī)提供高可重復(fù)性,、高均勻性及高潔凈度的兆聲清洗,、兆聲輔助下光刻膠剝離,以及濕...
單晶圓/硅片/掩膜版清洗機(jī):Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機(jī)提供高可重復(fù)性,、高均勻性及高潔凈度的兆聲清洗,、兆聲輔助下光刻膠剝離,以及濕法刻蝕,。它可...
LSC4000 半導(dǎo)體晶圓清洗設(shè)備:Nano-Master兆聲大基片濕法刻蝕系統(tǒng)提供高可重復(fù)性,、高均勻性及高潔凈度的兆聲清洗、兆聲輔助下光刻膠剝離,。它是集成式的...
SWC4000 掩模版兆聲清洗機(jī):Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機(jī)提供高可重復(fù)性,、高均勻性及高潔凈度的兆聲清洗、兆聲輔助下光刻膠剝離,,以及濕法刻蝕...
NIE-4000 IBE離子束刻蝕機(jī):如銅和金等金屬不含揮發(fā)性化合物,,這些金屬的刻蝕無(wú)法在RIE系統(tǒng)中完成。然而通過(guò)加速的Ar離子進(jìn)行物理刻蝕則是可能的,。樣品表...
高分辨二次離子質(zhì)譜儀tof-sims是非常靈敏的表面分析手段,,憑借質(zhì)譜分析、二維成像分析,、深度元素分析等功能,,廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、細(xì)胞學(xué),、地質(zhì)礦物學(xué)、半導(dǎo)體,、微電子...
SurfaceSeer I是一款高靈敏度,、高質(zhì)量范圍、高分辨率的SIMS二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS),,可以用于絕緣,、導(dǎo)電表面的成像分析與化學(xué)成分分析。Su...
Kore SurfaceSeer I是一款高靈敏度的TOF-SIMS飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀,,用于絕緣,、導(dǎo)電表面的成像分析與化學(xué)成分分析。SurfaceSeer ...
Kore SurfaceSeer S在飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)系列中,,是一款高性價(jià)比且經(jīng)久耐用的產(chǎn)品,。它是研究樣品表面化學(xué)成分的理想選擇,適用...
微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng): NM的微波PECVD能夠沉積高質(zhì)量SiO2, Si3N4, 或DLC膜到Z大可達(dá)12" 的基片.淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源,,...
光學(xué)鍍膜設(shè)備:NANO-MASTER NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供*進(jìn)的技術(shù),,在一個(gè)腔體中實(shí)現(xiàn)原子級(jí)清洗和光學(xué)樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級(jí)腔體中對(duì)同一樣...
光學(xué)鍍膜系統(tǒng):NANO-MASTER NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供*進(jìn)的技術(shù),,在一個(gè)腔體中實(shí)現(xiàn)原子級(jí)清洗和光學(xué)樣片拋光,,然后把樣片傳送到第二級(jí)腔體中對(duì)同一樣...
進(jìn)口ALD設(shè)備:ALD原子層沉積可以滿足膜厚控制以及高深寬比結(jié)構(gòu)的保形沉積,,這方面ALD原子層沉積遠(yuǎn)超過(guò)其它沉積技術(shù)。由于前驅(qū)體流量的隨意性不會(huì)帶來(lái)影響,,所以在...
等離子去膠機(jī):NANO-MASTER 等離子去膠和等離子灰化機(jī)是專門設(shè)計(jì)用來(lái)滿足晶圓批處理或單晶片處理,,具有廣泛應(yīng)用,從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到,。該系...
兆聲清洗機(jī):Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機(jī)提供高可重復(fù)性,、高均勻性及的兆聲清洗、兆聲輔助下光刻膠剝離,,以及濕法刻蝕,。該系統(tǒng)配套機(jī)械手,也可以升級(jí)...
硅片清洗機(jī):Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機(jī)提供高可重復(fù)性,、高均勻性及兆聲清洗,。它可以在一個(gè)工藝步驟中包含了的無(wú)損兆聲清洗、化學(xué)試劑清洗,、刷子清洗...
進(jìn)口晶圓清洗機(jī):Nano-Master進(jìn)口兆聲單晶圓及掩模版清洗機(jī)提供高可重復(fù)性,、高均勻性及兆聲清洗。它可以在一個(gè)工藝步驟中包含了的無(wú)損兆聲清洗,、化學(xué)試劑清洗,、...
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