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Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/6/27 11:43:06
  • 訪問次數(shù) 22

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那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國大陸、香港,、澳門和中國臺灣)的高校,、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機構(gòu)提供高性能,、高性價比,、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備(包含磁控濺射,、熱蒸鍍,、電子束、PECVD、ALD,、PA-MOCVD,、RIE、離子束,、DRIE,、晶圓兆聲清洗機等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質(zhì)譜儀,,包含飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS),、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(PTR)質(zhì)譜儀、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等,。





ALD,,PECVD,RIE,,磁控濺射,,熱蒸鍍,電子束,,離子束,,晶圓清洗機,PA-MOCVD,,飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

Parylene 派瑞林涂層技術(shù):

Parylene 是一種高性能的聚合物涂層材料,,學名是聚對二甲苯,通過一種特別的化學氣相沉積(CVD)工藝涂覆在物體表面,。這個過程在室溫,、真空環(huán)境下進行,生成的薄膜具有高度的保形性(能均勻覆蓋復雜形狀,、銳邊,、縫隙和針孔)、無針孔,、透明,、生物相容性好,、化學惰性強,、優(yōu)秀的電絕緣性和阻隔性能(防潮、防腐蝕氣體,、防鹽霧等),。


Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備廣泛應用于多個行業(yè),包括航天航空,、半導體,、新能源、軍工,、汽車,、手機,、新型顯示、電子元器件,、光通訊,、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域,。通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強度,、耐高低溫、抗腐蝕,、耐酸堿,、潤滑、防塵,、防水,、防潮、防銹,、透明,、抗老化、生物相容性等作用,。

Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備    


PPS所提供的Parylene 派瑞林真空鍍膜系統(tǒng)具有以下優(yōu)勢:
       1,、在真空腔體中集成等離子源
       2、兼容超凈間的系統(tǒng)設(shè)計
       3,、經(jīng)過驗證且具有完整可塑性的生產(chǎn)流程
       4,、可以提供從定制化的涂覆系統(tǒng)和量身定制的工藝開發(fā),到全面的耗材,、備件供應以及長期的技術(shù)支持服務

我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實驗型機型,,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機型。同時,,我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,,實現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M行表面化處理,從而提高薄膜的粘附性,。另外,,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計,在小占地面積下提供高性能技術(shù),,節(jié)約大量的超凈間占地空間,。

相關(guān)型號:

型號Series 100Series 300Series 2000Series 3000Series 3000 CRMulti-chamber
工藝腔體
DxH
300x300mm450x500mm400x600mm700x800mm700x800mm300Lx300Wx300H(3個腔室)
設(shè)備尺寸
LxWxH
850x900x1600mm1050x1220x1920mm960x2600x1460mm2095x800x1450mm2095x800x1450mm1050x1220x1920mm
冷卻系統(tǒng)4L機電冷卻阱4L機電冷卻阱8L機電冷卻阱8L機電冷卻阱8L機電冷卻阱8L機電冷卻阱
泵系統(tǒng)10m3/h最大50m3/h10m3/h75m3/h75m3/h40m3/h(3臺)
等離子源
2.45GHZ,最大600W選配2.45GHz,,最大1200W2.45GHz,,up to 1200W2.45GHz/1200W;
13.56MHz/600W



   

PPS 提供多樣化的定制化實驗室涂布設(shè)備,配備多種可選裝置與附加組件,,旨在確保涂層工藝的成功實施,、表面潔凈度以及涂層的均勻性和平滑性。我們的絕大多數(shù)系統(tǒng)均具備以下功能配置
   - 可定制腔體尺寸
   - 支持選配等離子體源
   - 配備冷卻系統(tǒng)及集成泵系統(tǒng)

Parylene System 3000 LV300 是一款模塊化設(shè)計的系統(tǒng),,主要由兩部分組成:腔室模塊與蒸發(fā)器模塊,。我們眾多設(shè)備均采用此類模塊化設(shè)計,旨在確保系統(tǒng)的靈活性,,從而能夠根據(jù)客戶需求對幾乎任何組件進行定制化調(diào)整,。其中,“3000”代表產(chǎn)品系列,,而“LV300”則用于標識機器腔室的尺寸規(guī)格,。該尺寸設(shè)計主要取決于您單次運行中需要涂覆的基板尺寸及數(shù)量要求。  我們所提供的腔室最大容積可達 1000 升,。此外,,該系統(tǒng)標配等離子源,并可選配旋轉(zhuǎn)工作臺,、加熱/冷卻臺以及多達 3 個質(zhì)量流量控制器,,以滿足不同氣體入口的需求。

Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備


一體化泵架能夠顯著減少顆粒物排放,,從而為潔凈室在最嚴苛的環(huán)境下提供更為清潔和緊湊的整體解決方案,。  該系統(tǒng)已被全球眾多潔凈室設(shè)施及高等院校廣泛采用,且其應用范圍與使用數(shù)量仍在持續(xù)增長,。

Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備







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