Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備
- 公司名稱 那諾中國有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/6/27 11:43:06
- 訪問次數(shù) 22
聯(lián)系方式:吳運祥18916157635 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!
Parylene 派瑞林涂層技術(shù):
Parylene 是一種高性能的聚合物涂層材料,,學名是聚對二甲苯,通過一種特別的化學氣相沉積(CVD)工藝涂覆在物體表面,。這個過程在室溫,、真空環(huán)境下進行,生成的薄膜具有高度的保形性(能均勻覆蓋復雜形狀,、銳邊,、縫隙和針孔)、無針孔,、透明,、生物相容性好,、化學惰性強,、優(yōu)秀的電絕緣性和阻隔性能(防潮、防腐蝕氣體,、防鹽霧等),。
Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備廣泛應用于多個行業(yè),包括航天航空,、半導體,、新能源、軍工,、汽車,、手機,、新型顯示、電子元器件,、光通訊,、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域,。通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強度,、耐高低溫、抗腐蝕,、耐酸堿,、潤滑、防塵,、防水,、防潮、防銹,、透明,、抗老化、生物相容性等作用,。
PPS所提供的Parylene 派瑞林真空鍍膜系統(tǒng)具有以下優(yōu)勢:
1,、在真空腔體中集成等離子源
2、兼容超凈間的系統(tǒng)設(shè)計
3,、經(jīng)過驗證且具有完整可塑性的生產(chǎn)流程
4,、可以提供從定制化的涂覆系統(tǒng)和量身定制的工藝開發(fā),到全面的耗材,、備件供應以及長期的技術(shù)支持服務
我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實驗型機型,,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機型。同時,,我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,,實現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M行表面化處理,從而提高薄膜的粘附性,。另外,,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計,在小占地面積下提供高性能技術(shù),,節(jié)約大量的超凈間占地空間,。
相關(guān)型號:
型號 | Series 100 | Series 300 | Series 2000 | Series 3000 | Series 3000 CR | Multi-chamber |
工藝腔體 DxH | 300x300mm | 450x500mm | 400x600mm | 700x800mm | 700x800mm | 300Lx300Wx300H(3個腔室) |
設(shè)備尺寸 LxWxH | 850x900x1600mm | 1050x1220x1920mm | 960x2600x1460mm | 2095x800x1450mm | 2095x800x1450mm | 1050x1220x1920mm |
冷卻系統(tǒng) | 4L機電冷卻阱 | 4L機電冷卻阱 | 8L機電冷卻阱 | 8L機電冷卻阱 | 8L機電冷卻阱 | 8L機電冷卻阱 |
泵系統(tǒng) | 10m3/h | 最大50m3/h | 10m3/h | 75m3/h | 75m3/h | 40m3/h(3臺) |
等離子源 | 2.45GHZ,最大600W | 選配 | 2.45GHz,,最大1200W | 2.45GHz,,up to 1200W | 2.45GHz/1200W; 13.56MHz/600W |
PPS 提供多樣化的定制化實驗室涂布設(shè)備,配備多種可選裝置與附加組件,,旨在確保涂層工藝的成功實施,、表面潔凈度以及涂層的均勻性和平滑性。我們的絕大多數(shù)系統(tǒng)均具備以下功能配置:
- 可定制腔體尺寸
- 支持選配等離子體源
- 配備冷卻系統(tǒng)及集成泵系統(tǒng)
Parylene System 3000 LV300 是一款模塊化設(shè)計的系統(tǒng),,主要由兩部分組成:腔室模塊與蒸發(fā)器模塊,。我們眾多設(shè)備均采用此類模塊化設(shè)計,旨在確保系統(tǒng)的靈活性,,從而能夠根據(jù)客戶需求對幾乎任何組件進行定制化調(diào)整,。其中,“3000”代表產(chǎn)品系列,,而“LV300”則用于標識機器腔室的尺寸規(guī)格,。該尺寸設(shè)計主要取決于您單次運行中需要涂覆的基板尺寸及數(shù)量要求。 我們所提供的腔室最大容積可達 1000 升,。此外,,該系統(tǒng)標配等離子源,并可選配旋轉(zhuǎn)工作臺,、加熱/冷卻臺以及多達 3 個質(zhì)量流量控制器,,以滿足不同氣體入口的需求。
一體化泵架能夠顯著減少顆粒物排放,,從而為潔凈室在最嚴苛的環(huán)境下提供更為清潔和緊湊的整體解決方案,。 該系統(tǒng)已被全球眾多潔凈室設(shè)施及高等院校廣泛采用,且其應用范圍與使用數(shù)量仍在持續(xù)增長,。