濕法清洗機(jī)是一種利用化學(xué)溶液和高純水對(duì)工件進(jìn)行高效清洗的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光伏,、電子元器件等高精度制造行業(yè)。以下是關(guān)于濕法清洗機(jī)的詳細(xì)介紹：

用途

半導(dǎo)體制造領(lǐng)域：用于去除晶圓表面的顆粒,、有機(jī)物,、金屬殘留及氧化膜等雜質(zhì)，確保芯片的高質(zhì)量生產(chǎn),。在光刻,、蝕刻、沉積等工藝前后,，都需要使用濕法清洗機(jī)對(duì)晶圓進(jìn)行清洗,，以提高芯片的良率和性能。

光伏電池生產(chǎn)領(lǐng)域：用于太陽(yáng)能電池板的清洗,，能夠有效去除表面的污垢和雜質(zhì),，提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率和壽命。

LED制造領(lǐng)域：用于清洗LED芯片和基板，確保其發(fā)光效率和可靠性,，提升LED產(chǎn)品的質(zhì)量,。

微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）領(lǐng)域：用于MEMS器件的清洗，保證器件的精度和穩(wěn)定性,，滿足其高精度,、高可靠性的要求。

使用說(shuō)明

開機(jī)：按照設(shè)備的操作規(guī)程,，依次啟動(dòng)電源,、控制系統(tǒng)、送風(fēng)系統(tǒng),、純水系統(tǒng)等,，確保設(shè)備正常運(yùn)行。

裝載工件：將放有待清洗工件的籃筐或托盤放置在進(jìn)料位置,，通過(guò)機(jī)械手或自動(dòng)傳輸裝置將工件送入清洗槽,。

清洗過(guò)程：工件依次經(jīng)過(guò)多個(gè)清洗槽，每個(gè)槽內(nèi)有不同的清洗液和處理步驟,，如預(yù)洗,、主洗、漂洗等,。清洗過(guò)程中可能會(huì)使用超聲波,、旋轉(zhuǎn),、抖動(dòng)等輔助手段,，以提高清洗效果。

干燥過(guò)程：清洗完成后,，工件被送入送風(fēng)系統(tǒng),，通過(guò)吹風(fēng)或烘干的方式去除表面的水分。

卸載工件：干燥后的工件由機(jī)械手自動(dòng)取出,，放置在位置上,。

關(guān)機(jī)：清洗工作完成后，按照與開機(jī)相反的順序關(guān)閉設(shè)備,，先關(guān)閉清洗槽的加熱,、攪拌等功能，再關(guān)閉電源和其他輔助系統(tǒng),。清理清洗槽內(nèi)的殘留物和廢液,，保持設(shè)備的清潔。

檢查設(shè)備各部件是否正常,，包括清洗槽,、管道、閥門、儀表等,，確保無(wú)泄漏,、無(wú)損壞。

根據(jù)清洗對(duì)象的具體要求,，準(zhǔn)備好相應(yīng)的化學(xué)溶液和高純水,，并按照規(guī)定的比例配制好清洗液。

將待清洗的工件放入專用的籃筐或托盤中,，注意不要過(guò)度堆疊,，以免影響清洗效果。