12寸Cassette-less type槽式清洗機
參考價 | ¥ 10000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
- 品牌 芯矽科技
- 型號
- 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/8 15:04:56
- 訪問次數(shù) 5
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非標定制 | 根據(jù)客戶需求定制 |
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12寸Cassette-less Type槽式清洗機是一款專為半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)計的清洗設(shè)備,,采用無卡匣(Cassette-less)設(shè)計,,直接處理12英寸晶圓,適用于制程中的晶圓表面清洗,、蝕刻后清洗,、光刻膠去除等關(guān)鍵工藝。該設(shè)備結(jié)合槽式清洗結(jié)構(gòu)與高效自動化技術(shù),具備高產(chǎn)能,、高精度,、低污染等優(yōu)點,是半導(dǎo)體制造中的核心設(shè)備,。
核心亮點與優(yōu)勢
無卡匣設(shè)計,,提升效率與兼容性
采用Cassette-less設(shè)計,無需傳統(tǒng)卡匣裝載,,直接處理晶圓,,減少裝卸時間,提升生產(chǎn)效率,。
兼多種晶圓厚度與尺寸,,適應(yīng)不同制程需求,尤其適合制程中薄晶圓或特殊工藝的清洗,。
槽式清洗結(jié)構(gòu),,確保高潔凈度
多槽式設(shè)計,支持酸堿清洗,、漂洗,、干燥等多道工藝步驟,有效去除晶圓表面的顆粒,、有機物,、金屬污染等。
每個槽體獨立控制,,可根據(jù)工藝需求調(diào)整清洗液濃度,、溫度、時間等參數(shù),,確保清洗效果一致性,。
高精度清洗,滿足制程需求
配備超聲波輔助清洗功能,,通過空化效應(yīng)深入晶圓微小縫隙,,清除頑固污垢,適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)晶圓的清洗,。
采用高純度清洗液循環(huán)系統(tǒng),,避免二次污染,確保晶圓表面潔凈度達到納米級標準,。
智能化與自動化控制
集成的PLC控制系統(tǒng),,支持自動化清洗流程,減少人工干預(yù),,提升生產(chǎn)穩(wěn)定性,。
配備實時監(jiān)控系統(tǒng),可實時檢測清洗液狀態(tài)、晶圓表面潔凈度等關(guān)鍵參數(shù),,確保工藝可靠性,。
節(jié)能環(huán)保,降低運營成本
清洗液循環(huán)利用系統(tǒng),,減少化學(xué)試劑消耗,,降低廢液處理成本。
高效加熱與冷卻模塊,,優(yōu)化能源使用,,符合綠色制造標準。
模塊化設(shè)計,,靈活適配產(chǎn)線
設(shè)備采用模塊化設(shè)計,,可根據(jù)客戶需求定制槽體數(shù)量、清洗工藝及自動化程度,,輕松融入現(xiàn)有生產(chǎn)線,。
維護便捷,關(guān)鍵部件易于更換,,降低設(shè)備停機時間,。
技術(shù)參數(shù)
適用晶圓尺寸:12英寸(300mm)
清洗方式:槽式清洗(多槽可選),支持超聲波輔助清洗
清洗液:酸堿溶液,、有機溶劑等,,支持循環(huán)利用
清洗精度:表面顆粒去除率≥99.9%,金屬污染≤0.1nm
產(chǎn)能:每小時可處理12英寸晶圓XX片(視工藝復(fù)雜度而定)
控制系統(tǒng):PLC自動化控制,,支持遠程監(jiān)控與數(shù)據(jù)采集
應(yīng)用場景
半導(dǎo)體晶圓制造:清洗擴散,、蝕刻、光刻等工藝后的晶圓表面,。
封裝:清洗芯片,、基板等精密部件,確保鍵合與封裝質(zhì)量,。
科研與實驗:適用于高校,、研究所的高精度清洗需求。
12寸Cassette-less Type槽式清洗機以其高效,、精密、環(huán)保的特點,,成為半導(dǎo)體制造中晶圓清洗的理想選擇,。無卡匣設(shè)計提升生產(chǎn)效率,槽式結(jié)構(gòu)確保高潔凈度,,智能化控制與節(jié)能環(huán)保特性進一步降低運營成本,。無論是制程還是大規(guī)模生產(chǎn),該設(shè)備都能提供穩(wěn)定可靠的清洗解決方案,助力客戶提升產(chǎn)品質(zhì)量與市場競爭力,。