12寸Cassette-less type槽式清洗機(jī)
參考價(jià) | ¥ 10000 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
- 品牌 芯矽科技
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號(hào)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/8 15:04:56
- 訪問(wèn)次數(shù) 6
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非標(biāo)定制 | 根據(jù)客戶需求定制 |
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12寸Cassette-less Type槽式清洗機(jī)是一款專為半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)計(jì)的清洗設(shè)備,采用無(wú)卡匣(Cassette-less)設(shè)計(jì),,直接處理12英寸晶圓,,適用于制程中的晶圓表面清洗、蝕刻后清洗,、光刻膠去除等關(guān)鍵工藝,。該設(shè)備結(jié)合槽式清洗結(jié)構(gòu)與高效自動(dòng)化技術(shù),具備高產(chǎn)能,、高精度,、低污染等優(yōu)點(diǎn),是半導(dǎo)體制造中的核心設(shè)備,。
核心亮點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
無(wú)卡匣設(shè)計(jì),,提升效率與兼容性
采用Cassette-less設(shè)計(jì),無(wú)需傳統(tǒng)卡匣裝載,,直接處理晶圓,,減少裝卸時(shí)間,提升生產(chǎn)效率,。
兼多種晶圓厚度與尺寸,,適應(yīng)不同制程需求,尤其適合制程中薄晶圓或特殊工藝的清洗,。
槽式清洗結(jié)構(gòu),,確保高潔凈度
多槽式設(shè)計(jì),支持酸堿清洗,、漂洗,、干燥等多道工藝步驟,,有效去除晶圓表面的顆粒、有機(jī)物,、金屬污染等,。
每個(gè)槽體獨(dú)立控制,可根據(jù)工藝需求調(diào)整清洗液濃度,、溫度,、時(shí)間等參數(shù),確保清洗效果一致性,。
高精度清洗,,滿足制程需求
配備超聲波輔助清洗功能,通過(guò)空化效應(yīng)深入晶圓微小縫隙,,清除頑固污垢,,適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)晶圓的清洗。
采用高純度清洗液循環(huán)系統(tǒng),,避免二次污染,,確保晶圓表面潔凈度達(dá)到納米級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
智能化與自動(dòng)化控制
集成的PLC控制系統(tǒng),,支持自動(dòng)化清洗流程,,減少人工干預(yù),提升生產(chǎn)穩(wěn)定性,。
配備實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng),,可實(shí)時(shí)檢測(cè)清洗液狀態(tài)、晶圓表面潔凈度等關(guān)鍵參數(shù),,確保工藝可靠性,。
節(jié)能環(huán)保,降低運(yùn)營(yíng)成本
清洗液循環(huán)利用系統(tǒng),,減少化學(xué)試劑消耗,,降低廢液處理成本。
高效加熱與冷卻模塊,,優(yōu)化能源使用,,符合綠色制造標(biāo)準(zhǔn)。
模塊化設(shè)計(jì),,靈活適配產(chǎn)線
設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì),,可根據(jù)客戶需求定制槽體數(shù)量、清洗工藝及自動(dòng)化程度,,輕松融入現(xiàn)有生產(chǎn)線,。
維護(hù)便捷,關(guān)鍵部件易于更換,降低設(shè)備停機(jī)時(shí)間,。
技術(shù)參數(shù)
適用晶圓尺寸:12英寸(300mm)
清洗方式:槽式清洗(多槽可選),,支持超聲波輔助清洗
清洗液:酸堿溶液、有機(jī)溶劑等,,支持循環(huán)利用
清洗精度:表面顆粒去除率≥99.9%,,金屬污染≤0.1nm
產(chǎn)能:每小時(shí)可處理12英寸晶圓XX片(視工藝復(fù)雜度而定)
控制系統(tǒng):PLC自動(dòng)化控制,,支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)采集
應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體晶圓制造:清洗擴(kuò)散,、蝕刻、光刻等工藝后的晶圓表面,。
封裝:清洗芯片,、基板等精密部件,確保鍵合與封裝質(zhì)量,。
科研與實(shí)驗(yàn):適用于高校,、研究所的高精度清洗需求。
12寸Cassette-less Type槽式清洗機(jī)以其高效,、精密,、環(huán)保的特點(diǎn),成為半導(dǎo)體制造中晶圓清洗的理想選擇,。無(wú)卡匣設(shè)計(jì)提升生產(chǎn)效率,,槽式結(jié)構(gòu)確保高潔凈度,智能化控制與節(jié)能環(huán)保特性進(jìn)一步降低運(yùn)營(yíng)成本,。無(wú)論是制程還是大規(guī)模生產(chǎn),,該設(shè)備都能提供穩(wěn)定可靠的清洗解決方案,助力客戶提升產(chǎn)品質(zhì)量與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力,。