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12寸Cassette-less type槽式清洗機

參考價 10000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號
  • 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/7/8 15:04:56
  • 訪問次數(shù) 5

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!


芯矽科技是一家專注半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機,,單片清洗機,,高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學(xué)鍍設(shè)備,,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位,,已經(jīng)成功取得長江存儲,中芯國際,,重慶華潤,,上海華虹,上海積塔,,上海格科,廣東粵芯,,青島芯恩,,廈門士蘭,南通捷捷,,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導(dǎo)體濕法設(shè)備

非標定制 根據(jù)客戶需求定制

12寸Cassette-less Type槽式清洗機是一款專為半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)計的清洗設(shè)備,,采用無卡匣(Cassette-less)設(shè)計,,直接處理12英寸晶圓,適用于制程中的晶圓表面清洗,、蝕刻后清洗,、光刻膠去除等關(guān)鍵工藝。該設(shè)備結(jié)合槽式清洗結(jié)構(gòu)與高效自動化技術(shù),具備高產(chǎn)能,、高精度,、低污染等優(yōu)點,是半導(dǎo)體制造中的核心設(shè)備,。

核心亮點與優(yōu)勢                                

無卡匣設(shè)計,,提升效率與兼容性

采用Cassette-less設(shè)計,無需傳統(tǒng)卡匣裝載,,直接處理晶圓,,減少裝卸時間,提升生產(chǎn)效率,。

兼多種晶圓厚度與尺寸,,適應(yīng)不同制程需求,尤其適合制程中薄晶圓或特殊工藝的清洗,。

槽式清洗結(jié)構(gòu),,確保高潔凈度

多槽式設(shè)計,支持酸堿清洗,、漂洗,、干燥等多道工藝步驟,有效去除晶圓表面的顆粒,、有機物,、金屬污染等。

每個槽體獨立控制,,可根據(jù)工藝需求調(diào)整清洗液濃度,、溫度、時間等參數(shù),,確保清洗效果一致性,。

高精度清洗,滿足制程需求

配備超聲波輔助清洗功能,,通過空化效應(yīng)深入晶圓微小縫隙,,清除頑固污垢,適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)晶圓的清洗,。

采用高純度清洗液循環(huán)系統(tǒng),,避免二次污染,確保晶圓表面潔凈度達到納米級標準,。

智能化與自動化控制

集成的PLC控制系統(tǒng),,支持自動化清洗流程,減少人工干預(yù),,提升生產(chǎn)穩(wěn)定性,。

配備實時監(jiān)控系統(tǒng),可實時檢測清洗液狀態(tài)、晶圓表面潔凈度等關(guān)鍵參數(shù),,確保工藝可靠性,。

節(jié)能環(huán)保,降低運營成本

清洗液循環(huán)利用系統(tǒng),,減少化學(xué)試劑消耗,,降低廢液處理成本。

高效加熱與冷卻模塊,,優(yōu)化能源使用,,符合綠色制造標準。

模塊化設(shè)計,,靈活適配產(chǎn)線

設(shè)備采用模塊化設(shè)計,,可根據(jù)客戶需求定制槽體數(shù)量、清洗工藝及自動化程度,,輕松融入現(xiàn)有生產(chǎn)線,。

維護便捷,關(guān)鍵部件易于更換,,降低設(shè)備停機時間,。

技術(shù)參數(shù)                                

適用晶圓尺寸:12英寸(300mm)

清洗方式:槽式清洗(多槽可選),支持超聲波輔助清洗

清洗液:酸堿溶液,、有機溶劑等,,支持循環(huán)利用

清洗精度:表面顆粒去除率≥99.9%,金屬污染≤0.1nm

產(chǎn)能:每小時可處理12英寸晶圓XX片(視工藝復(fù)雜度而定)

控制系統(tǒng):PLC自動化控制,,支持遠程監(jiān)控與數(shù)據(jù)采集

應(yīng)用場景                                

半導(dǎo)體晶圓制造:清洗擴散,、蝕刻、光刻等工藝后的晶圓表面,。

封裝:清洗芯片,、基板等精密部件,確保鍵合與封裝質(zhì)量,。                                

科研與實驗:適用于高校,、研究所的高精度清洗需求。

12寸Cassette-less Type槽式清洗機以其高效,、精密、環(huán)保的特點,,成為半導(dǎo)體制造中晶圓清洗的理想選擇,。無卡匣設(shè)計提升生產(chǎn)效率,槽式結(jié)構(gòu)確保高潔凈度,,智能化控制與節(jié)能環(huán)保特性進一步降低運營成本,。無論是制程還是大規(guī)模生產(chǎn),該設(shè)備都能提供穩(wěn)定可靠的清洗解決方案,助力客戶提升產(chǎn)品質(zhì)量與市場競爭力,。




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