槽式硅片清洗機(jī) 芯矽科技
參考價(jià) | ¥ 10000 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
- 品牌 芯矽科技
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號(hào)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/8 15:24:40
- 訪問(wèn)次數(shù) 5
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非標(biāo)定制 | 根據(jù)客戶需求定制 |
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槽式硅片清洗機(jī)是專為半導(dǎo)體硅片制造設(shè)計(jì)的高效清洗設(shè)備,,采用多槽分段式結(jié)構(gòu),集成酸堿清洗,、漂洗、干燥等全流程工藝,,適用于去除硅片表面的顆粒,、金屬污染及有機(jī)物殘留。設(shè)備支持12英寸及以下硅片,,廣泛應(yīng)用于硅片制造、封裝,、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域,,兼具高產(chǎn)能、高精度與低污染特點(diǎn),,是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的核心設(shè)備。
核心優(yōu)勢(shì)與特點(diǎn)
多槽分段式清洗結(jié)構(gòu)
設(shè)備采用多槽設(shè)計(jì),,每個(gè)槽體獨(dú)立控制,,可實(shí)現(xiàn)酸堿清洗、有機(jī)溶劑清洗,、漂洗,、干燥等多道工藝步驟,,確保硅片表面污染物清除,。
槽體材質(zhì)選用耐腐蝕性強(qiáng)的特種材料(如PFA、PTFE),,避免清洗液腐蝕設(shè)備,,延長(zhǎng)使用壽命,。
高效自動(dòng)化與智能化控制
集成PLC與觸摸屏操作系統(tǒng),,支持全自動(dòng)清洗流程,減少人工干預(yù),,提升生產(chǎn)效率和工藝穩(wěn)定性,。
實(shí)時(shí)監(jiān)控清洗液狀態(tài)(如濃度,、溫度、pH值),,智能調(diào)整參數(shù),,確保清洗效果一致性。
高精度清洗能力
可選配超聲波輔助清洗功能,,通過(guò)高頻振動(dòng)產(chǎn)生空化效應(yīng),,深入硅片微小縫隙,清除頑固污垢,,滿足納米級(jí)潔凈度要求,。
高純度清洗液循環(huán)系統(tǒng),,避免二次污染,確保硅片表面顆粒去除率≥99.9%,,金屬污染≤0.1nm,。
廣泛兼容性與靈活性
支持12英寸及以下硅片清洗,兼容多尺寸硅片(如8寸,、6寸),適應(yīng)不同產(chǎn)線需求,。
無(wú)卡匣(Cassette-less)設(shè)計(jì),,直接處理硅片,提升裝載效率與空間利用率,,適合大批量生產(chǎn),。
節(jié)能環(huán)保與低成本運(yùn)營(yíng)
清洗液循環(huán)利用系統(tǒng),,減少化學(xué)試劑消耗,,降低廢液處理成本。
高效加熱與冷卻模塊,,優(yōu)化能源使用,,符合綠色制造標(biāo)準(zhǔn)。
安全可靠與易維護(hù)
配備緊急停機(jī),、漏電保護(hù),、氣體報(bào)警等安全功能,確保操作安全性,。
關(guān)鍵部件模塊化設(shè)計(jì),維護(hù)便捷,,減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間,。
技術(shù)參數(shù)
適用硅片尺寸:12英寸(300mm)及以下(兼容多尺寸)
清洗方式:槽式清洗(多槽可選),支持超聲波輔助清洗
清洗液:酸堿溶液,、有機(jī)溶劑等,,支持循環(huán)利用與自動(dòng)補(bǔ)充
清洗精度:表面顆粒去除率≥99.9%,金屬污染≤0.1nm
產(chǎn)能:每小時(shí)可處理12英寸硅片XX片(視工藝復(fù)雜度而定)
控制系統(tǒng):PLC自動(dòng)化控制,,支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)采集
應(yīng)用場(chǎng)景
硅片制造:清洗擴(kuò)散、蝕刻,、光刻等工藝后的硅片表面,,確保后續(xù)制程良率。
封裝:清洗芯片,、基板等精密部件,提升鍵合與封裝質(zhì)量,。
科研與實(shí)驗(yàn):適用于高校,、研究所的高精度清洗需求,支持特殊工藝開(kāi)發(fā),。
槽式硅片清洗機(jī)以其高效,、精密,、環(huán)保的特點(diǎn),成為半導(dǎo)體制造中硅片清洗的理想選擇,。多槽分段式結(jié)構(gòu)確保清洗效果,,智能化控制與自動(dòng)化操作提升生產(chǎn)效率,廣泛兼容性與模塊化設(shè)計(jì)適應(yīng)不同工藝需求。無(wú)論是大規(guī)模生產(chǎn)還是制程,,該設(shè)備都能提供穩(wěn)定可靠的清洗解決方案,助力客戶提升產(chǎn)品質(zhì)量與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力,。