全自動晶圓槽式清洗機(jī) 芯矽科技
參考價 | ¥ 100000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
- 品牌 芯矽科技
- 型號
- 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/8 15:16:54
- 訪問次數(shù) 7
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非標(biāo)定制 | 根據(jù)客戶需求定制 |
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全自動晶圓槽式清洗機(jī)是專為半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)計的清洗設(shè)備,,采用多槽式結(jié)構(gòu)與自動化控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)晶圓表面顆粒,、有機(jī)物,、金屬污染等雜質(zhì)的高效去除。設(shè)備支持12英寸及以下晶圓清洗,,適用于制程中的擴(kuò)散,、蝕刻、光刻等工藝后的清洗需求,兼具高產(chǎn)能,、高精度與低污染特點(diǎn),,是半導(dǎo)體制造產(chǎn)線的核心設(shè)備之一。
核心優(yōu)勢與特點(diǎn)
全自動智能化控制
集成PLC與觸摸屏操作系統(tǒng),,支持全流程自動化清洗,,減少人工干預(yù),提升生產(chǎn)效率和工藝穩(wěn)定性,。
實(shí)時監(jiān)控清洗液狀態(tài)(如濃度,、溫度、pH值),,智能調(diào)整參數(shù),,確保清洗效果一致性。
多槽式模塊化設(shè)計
采用多槽分段清洗結(jié)構(gòu)(如酸堿清洗槽,、漂洗槽,、干燥槽),可根據(jù)工藝需求靈活配置槽體數(shù)量與功能,。
模塊化設(shè)計便于維護(hù)與升級,,適應(yīng)不同制程的清洗要求(如特殊化學(xué)品或高溫工藝)。
高精度清洗能力
可選配超聲波輔助清洗功能,,通過空化效應(yīng)深入晶圓微小縫隙,,清除頑固污垢,滿足納米級潔凈度要求,。
高純度清洗液循環(huán)系統(tǒng),避免二次污染,,確保晶圓表面顆粒去除率≥99.9%,,金屬污染≤0.1nm。
高效產(chǎn)能與兼容性
支持12英寸晶圓清洗,,兼容多尺寸晶圓(如8寸,、6寸),適應(yīng)不同產(chǎn)線需求,。
無卡匣(Cassette-less)設(shè)計,,直接處理晶圓,提升裝載效率與空間利用率,,適合大批量生產(chǎn),。
節(jié)能環(huán)保與低成本運(yùn)營
清洗液循環(huán)利用系統(tǒng),減少化學(xué)試劑消耗,,降低廢液處理成本,。
高效加熱與冷卻模塊,優(yōu)化能源使用,符合綠色制造標(biāo)準(zhǔn),。
安全可靠與易維護(hù)
配備緊急停機(jī),、漏電保護(hù)、氣體報警等安全功能,,確保操作安全性,。
關(guān)鍵部件模塊化設(shè)計,維護(hù)便捷,,減少設(shè)備停機(jī)時間,。
技術(shù)參數(shù)
適用晶圓尺寸:12英寸(300mm)及以下(兼容多尺寸)
清洗方式:槽式清洗(多槽可選),支持超聲波輔助清洗
清洗液:酸堿溶液,、有機(jī)溶劑等,,支持循環(huán)利用與自動補(bǔ)充
清洗精度:表面顆粒去除率≥99.9%,金屬污染≤0.1nm
產(chǎn)能:每小時可處理12英寸晶圓XX片(視工藝復(fù)雜度而定)
控制系統(tǒng):PLC自動化控制,,支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)采集