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NPE-4000 PECVD/等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾-馬斯特中國有限公司
  • 品牌
  • 型號 NPE-4000
  • 產(chǎn)地 PECVD
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2018/5/8 17:15:57
  • 訪問次數(shù) 437

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!


NANO-MASTER(那諾-馬斯特)作為性的專業(yè)薄膜工藝系統(tǒng)的供應(yīng)商,提供的產(chǎn)品涵蓋了沉積,、刻蝕,、生長、表面處理,、清洗,、空間仿真儀器測試等類別。

主要的設(shè)備包含有:

E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng),,Thermal熱蒸發(fā)系統(tǒng),;
PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng);
PLD脈沖激光沉積系統(tǒng),,DLC類金剛石沉積系統(tǒng),;
Sputering磁控濺射(DC&RF)系統(tǒng);
Ion Beam離子束濺射/清洗/刻蝕/研磨系統(tǒng),;
RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),,DRIE深硅刻蝕系統(tǒng);
ICP電感耦合等離子系統(tǒng),;
Plasma等離子清洗/改性/去膠系統(tǒng),;
ALD原子層沉積系統(tǒng),PA-MOCVD系統(tǒng);
CNT生長系統(tǒng),,石墨烯生長系統(tǒng),;
PIII等離子注入系統(tǒng),RTP真空退火,;
Megasonic兆聲清洗/刻蝕,;
Device Testing Systems設(shè)備測試(空間仿真);
Heated Platens等離子樣品臺等,。

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的設(shè)備廣泛應(yīng)用于:LED領(lǐng)域,,MEMS領(lǐng)域,納米技術(shù)領(lǐng)域,,光電子學(xué),,光伏領(lǐng)域,研究開發(fā),、半導(dǎo)體領(lǐng)域,,空間仿真學(xué),新興技術(shù)等,。

PECVD,,PA-MOCVD,蒸發(fā)系統(tǒng),,離子束,,ALD,等離子源,,濺射,,刻蝕,熱真空,,兆聲清洗機(jī),,雙系統(tǒng)

PECVD/等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

NANO-MASTER(那諾-馬斯特) PECVD系統(tǒng)能夠沉積高質(zhì)量的SiO2, Si3N4, DLC薄膜到zui大可達(dá)12” 直徑的基片上.該系統(tǒng)采用淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源來產(chǎn)生等離子,具有分形氣流分布的優(yōu)勢.樣品臺可以通過RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓,。并可以支持加熱和循環(huán)冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機(jī)械泵,,腔體可以達(dá)到低至10-7 torr的真空,。標(biāo)準(zhǔn)配置包含1路惰性氣體,、3路活性氣體管路和4MFC.帶有*氣體分布系統(tǒng)的平面中空陰極等離子源使得系統(tǒng)可以滿足廣大范圍的要求,無論是等離子強(qiáng)度,、均勻度,,還是要分別激活某些活性組份,這樣系統(tǒng)可以覆蓋zui廣的可能性來獲得各種沉積參數(shù),。

產(chǎn)品特點:

  • 不銹鋼或鋁制腔體
  • 極限真空可達(dá)10-7Torr
  • RF淋浴頭,,HCD或微波等離子源可選
  • 高達(dá)12”(300mm)直徑的樣品臺
  • RF射頻偏壓樣品臺
  • 水冷樣品臺
  • 可加熱到800 °C樣品臺
  • 加熱的氣體管路
  • 加熱的液體傳送單元
  • 抗腐蝕的渦輪分子泵組
  • 1路載體氣體以及3路反應(yīng)氣體,帶MFC
  • zui大可支持8路MFC,帶排放箱及氣體閥組
  • 預(yù)真空鎖及自動上下載腔門
  • 氣動控制閥
  • 基于LabView軟件的PC計算機(jī)全自動控制
  • 菜單驅(qū)動,,4級密碼訪問保護(hù)
  • 完整的安全聯(lián)鎖

產(chǎn)品應(yīng)用:

  • 等離子誘導(dǎo)表面改性
  • 等離子清洗
  • 等離子聚合
  • SiO2, Si3N4, a-Si, DLC以及其它薄膜
  • CNT選擇性生長

設(shè)備型號:

  • NPE-4000:基于PC計算機(jī)全自動控制的獨(dú)立系統(tǒng)
  • NPE-3500:基于PC計算機(jī)全自動控制的緊湊型獨(dú)立系統(tǒng)
  • NPE-3000:基于PC計算機(jī)全自動控制的臺式系統(tǒng)
  • NRP-4000:RIE/PECVD雙系統(tǒng)
  • NSP-4000:濺射/PECVD雙系統(tǒng)


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