PAMOCVD/等離子輔助金屬有機物化學氣相沉積

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有加熱的氣體管路,、5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、950度樣品臺三個氣體環(huán),、PC全自動控制,、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗,、 250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10^-7Torr極限真空),，*的安全互鎖。

目前,，NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng),，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。

型號NMC-3000的PAMOCVD系統(tǒng)

• 應用：綠光LED(GaN, InGaN, AlGaN, ...)
• 臺式系統(tǒng)
• 5個帶獨立冷卻槽的起泡器
• 加熱的氣體管路
• 950 °C樣品臺,，2”晶圓片
• 3個氣體環(huán)
• RF等離子源,，帶淋浴頭氣體分布
• 工藝完成后N2自動沖洗
• 極限真空5x10-7Torr
• 250 l/s的渦輪分子泵串接無油干泵
• 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機全自動控制
• 菜單驅動，4級密碼訪問控制
• 完整的安全聯(lián)鎖

型號NMC-4000的PAMOCVD系統(tǒng)

• 獨立系統(tǒng)
• 14”不銹鋼立方體腔體
• 1次在8”樣品臺上處理1個6”晶圓片或在12”樣品臺上處理5片4”片子
• 加熱的氣體管路
• RF等離子源,，自動調諧
• 淋浴頭氣體分布
• 1100°C的旋轉樣品臺
• N2沖洗
• 手動或自動的晶圓片上下載
• 可以兼容到集群配置中