NMC-4000 PAMOCVD/等離子輔助MOCVD
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 那諾-馬斯特中國有限公司
- 品牌
- 型號 NMC-4000
- 產地 美國
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2018/5/20 17:01:41
- 訪問次數 379
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PAMOCVD/等離子輔助金屬有機物化學氣相沉積
NANO-MASTER(那諾-馬斯特)針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有加熱的氣體管路,、5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、950度樣品臺三個氣體環(huán),、PC全自動控制,、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗,、 250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空),,*的安全互鎖。
目前,,NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng),,該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。
型號NMC-3000的PAMOCVD系統(tǒng)
- 應用:綠光LED(GaN, InGaN, AlGaN, ...)
- 臺式系統(tǒng)
- 5個帶獨立冷卻槽的起泡器
- 加熱的氣體管路
- 950 °C樣品臺,,2”晶圓片
- 3個氣體環(huán)
- RF等離子源,,帶淋浴頭氣體分布
- 工藝完成后N2自動沖洗
- 極限真空5x10-7Torr
- 250 l/s的渦輪分子泵串接無油干泵
- 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機全自動控制
- 菜單驅動,4級密碼訪問控制
- 完整的安全聯(lián)鎖
型號NMC-4000的PAMOCVD系統(tǒng)
- 獨立系統(tǒng)
- 14”不銹鋼立方體腔體
- 1次在8”樣品臺上處理1個6”晶圓片或在12”樣品臺上處理5片4”片子
- 加熱的氣體管路
- RF等離子源,,自動調諧
- 淋浴頭氣體分布
- 1100°C的旋轉樣品臺
- N2沖洗
- 手動或自動的晶圓片上下載
- 可以兼容到集群配置中