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NLD-3500 ALD/原子層沉積系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾-馬斯特中國(guó)有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) NLD-3500
  • 產(chǎn)地 美國(guó)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2018/5/9 8:34:07
  • 訪問次數(shù) 324

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NANO-MASTER(那諾-馬斯特)作為性的專業(yè)薄膜工藝系統(tǒng)的供應(yīng)商,,提供的產(chǎn)品涵蓋了沉積,、刻蝕、生長(zhǎng),、表面處理,、清洗、空間仿真儀器測(cè)試等類別,。

主要的設(shè)備包含有:

E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng),,Thermal熱蒸發(fā)系統(tǒng);
PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),;
PLD脈沖激光沉積系統(tǒng),,DLC類金剛石沉積系統(tǒng);
Sputering磁控濺射(DC&RF)系統(tǒng),;
Ion Beam離子束濺射/清洗/刻蝕/研磨系統(tǒng),;
RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),DRIE深硅刻蝕系統(tǒng),;
ICP電感耦合等離子系統(tǒng),;
Plasma等離子清洗/改性/去膠系統(tǒng);
ALD原子層沉積系統(tǒng),,PA-MOCVD系統(tǒng),;
CNT生長(zhǎng)系統(tǒng),石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng),;
PIII等離子注入系統(tǒng),,RTP真空退火;
Megasonic兆聲清洗/刻蝕,;
Device Testing Systems設(shè)備測(cè)試(空間仿真),;
Heated Platens等離子樣品臺(tái)等。

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的設(shè)備廣泛應(yīng)用于:LED領(lǐng)域,MEMS領(lǐng)域,,納米技術(shù)領(lǐng)域,,光電子學(xué),光伏領(lǐng)域,,研究開發(fā),、半導(dǎo)體領(lǐng)域,空間仿真學(xué),,新興技術(shù)等,。

PECVD,PA-MOCVD,,蒸發(fā)系統(tǒng),,離子束,ALD,,等離子源,,濺射,刻蝕,,熱真空,兆聲清洗機(jī),,雙系統(tǒng)

原子層沉積系統(tǒng)

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)NLD-4000是一款獨(dú)立的PC計(jì)算機(jī)控制的ALD原子層沉積系統(tǒng),,帶Labview軟件,具備四級(jí)密碼控制的用戶*保護(hù)功能,。系統(tǒng)為全自動(dòng)的安全互鎖設(shè)計(jì),,并提供了強(qiáng)大的靈活性,可以用于沉積多種薄膜(如:AL2O3, AlN, TiN, ZrO2, LaO2, HfO2,等等),。應(yīng)用領(lǐng)域包含半導(dǎo)體,、光伏、MEMS等,。NLD-4000系統(tǒng)提供12”的鋁質(zhì)反應(yīng)腔體,,帶有加熱腔壁和氣動(dòng)升降頂蓋,非常方便腔體的訪問和清潔,。該系統(tǒng)擁有一個(gè)載氣艙包含多達(dá)7個(gè)50ml的加熱汽缸,,用于前驅(qū)體以及反應(yīng)物,同時(shí)帶有N2或者Ar作為運(yùn)載氣體的快脈沖加熱傳輸閥,。

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)NLD-4000系統(tǒng)的選配項(xiàng)包含自動(dòng)L/UL上下載(用于6”基片),,ICP離子源(用于等離子增強(qiáng)的PEALD),臭氧發(fā)生器,,等等,。

NLD-40006”晶圓片上的均勻性數(shù)據(jù)

周期:100個(gè)周期(TMA + H2O)

均勻度:0.36%

溫度:200°C

折射率:1.68


周期:300個(gè)周期(TMA + H2O)

均勻度:0.27%

溫度:200°C

折射率:1.67



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