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NIE-3500 IBM離子銑/RIBE反應(yīng)離子束刻蝕

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾-馬斯特中國(guó)有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) NIE-3500
  • 產(chǎn)地 美國(guó)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2015/5/5 17:09:44
  • 訪問(wèn)次數(shù) 277

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NANO-MASTER(那諾-馬斯特)作為性的專業(yè)薄膜工藝系統(tǒng)的供應(yīng)商,提供的產(chǎn)品涵蓋了沉積,、刻蝕,、生長(zhǎng)、表面處理,、清洗,、空間仿真儀器測(cè)試等類別。

主要的設(shè)備包含有:

E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng),,Thermal熱蒸發(fā)系統(tǒng),;
PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng);
PLD脈沖激光沉積系統(tǒng),,DLC類金剛石沉積系統(tǒng),;
Sputering磁控濺射(DC&RF)系統(tǒng);
Ion Beam離子束濺射/清洗/刻蝕/研磨系統(tǒng),;
RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),,DRIE深硅刻蝕系統(tǒng);
ICP電感耦合等離子系統(tǒng),;
Plasma等離子清洗/改性/去膠系統(tǒng),;
ALD原子層沉積系統(tǒng),PA-MOCVD系統(tǒng),;
CNT生長(zhǎng)系統(tǒng),,石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng);
PIII等離子注入系統(tǒng),,RTP真空退火,;
Megasonic兆聲清洗/刻蝕;
Device Testing Systems設(shè)備測(cè)試(空間仿真),;
Heated Platens等離子樣品臺(tái)等,。

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的設(shè)備廣泛應(yīng)用于:LED領(lǐng)域,MEMS領(lǐng)域,,納米技術(shù)領(lǐng)域,,光電子學(xué),光伏領(lǐng)域,,研究開(kāi)發(fā),、半導(dǎo)體領(lǐng)域,空間仿真學(xué),,新興技術(shù)等,。

PECVD,PA-MOCVD,,蒸發(fā)系統(tǒng),,離子束,ALD,,等離子源,,濺射,刻蝕,,熱真空,,兆聲清洗機(jī),雙系統(tǒng)

IBM離子銑/RIBE反應(yīng)離子束刻蝕

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 低成本
  • 離子束:高達(dá)2KV/10mA
  • 離子電流密度100-360uA/cm2
  • 離子束直徑:4”,5”,6”
  • 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 260l/s渦輪分子泵,,串接500 l/min干泵
  • 14”不銹鋼或鋁質(zhì)腔體
  • 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(tái)(NIE-3500)
  • 自動(dòng)上下載片(NIE-3500)
  • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
  • 占地面積30”x30”

產(chǎn)品應(yīng)用:

  • 表面清洗
  • 表面處理
  • 離子銑
  • 帶活性氣體的離子束刻蝕
  • 光柵
  • SiO2,,Si和金屬的深槽刻蝕

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