化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室設(shè)備>NIE-3500 IBM離子銑/RIBE反應(yīng)離子束刻蝕
NIE-3500 IBM離子銑/RIBE反應(yīng)離子束刻蝕
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 那諾-馬斯特中國(guó)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) NIE-3500
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2015/5/5 17:09:44
- 訪問(wèn)次數(shù) 277
產(chǎn)品標(biāo)簽
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PECVD,PA-MOCVD,,蒸發(fā)系統(tǒng),,離子束,ALD,,等離子源,,濺射,刻蝕,,熱真空,,兆聲清洗機(jī),雙系統(tǒng)
IBM離子銑/RIBE反應(yīng)離子束刻蝕
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 低成本
- 離子束:高達(dá)2KV/10mA
- 離子電流密度100-360uA/cm2
- 離子束直徑:4”,5”,6”
- 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
- 極限真空5x10-7Torr
- 260l/s渦輪分子泵,,串接500 l/min干泵
- 14”不銹鋼或鋁質(zhì)腔體
- 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(tái)(NIE-3500)
- 自動(dòng)上下載片(NIE-3500)
- 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
- 占地面積30”x30”
產(chǎn)品應(yīng)用:
- 表面清洗
- 表面處理
- 離子銑
- 帶活性氣體的離子束刻蝕
- 光柵
- SiO2,,Si和金屬的深槽刻蝕