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NOC-4000 光學(xué)元件原子級涂覆系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾-馬斯特中國有限公司
  • 品牌
  • 型號 NOC-4000
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2018/5/9 13:31:43
  • 訪問次數(shù) 359

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!


NANO-MASTER(那諾-馬斯特)作為性的專業(yè)薄膜工藝系統(tǒng)的供應(yīng)商,,提供的產(chǎn)品涵蓋了沉積,、刻蝕、生長,、表面處理,、清洗、空間仿真儀器測試等類別。

主要的設(shè)備包含有:

E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng),,Thermal熱蒸發(fā)系統(tǒng),;
PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng);
PLD脈沖激光沉積系統(tǒng),,DLC類金剛石沉積系統(tǒng),;
Sputering磁控濺射(DC&RF)系統(tǒng);
Ion Beam離子束濺射/清洗/刻蝕/研磨系統(tǒng),;
RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),,DRIE深硅刻蝕系統(tǒng);
ICP電感耦合等離子系統(tǒng),;
Plasma等離子清洗/改性/去膠系統(tǒng),;
ALD原子層沉積系統(tǒng),PA-MOCVD系統(tǒng),;
CNT生長系統(tǒng),,石墨烯生長系統(tǒng);
PIII等離子注入系統(tǒng),,RTP真空退火,;
Megasonic兆聲清洗/刻蝕;
Device Testing Systems設(shè)備測試(空間仿真),;
Heated Platens等離子樣品臺等,。

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的設(shè)備廣泛應(yīng)用于:LED領(lǐng)域,MEMS領(lǐng)域,,納米技術(shù)領(lǐng)域,,光電子學(xué),光伏領(lǐng)域,,研究開發(fā),、半導(dǎo)體領(lǐng)域,,空間仿真學(xué),,新興技術(shù)等。

PECVD,,PA-MOCVD,,蒸發(fā)系統(tǒng),離子束,,ALD,,等離子源,濺射,,刻蝕,,熱真空,兆聲清洗機(jī),,雙系統(tǒng)

Optical Coating System/光學(xué)涂覆系統(tǒng)

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供的技術(shù),,系統(tǒng)的設(shè)計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用,,同時具備各自的自動上/下載片功能。在一個腔體中實現(xiàn)原子級清洗和光學(xué)樣片拋光,,然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進(jìn)行表面涂覆,,整個過程不間斷真空。


產(chǎn)品應(yīng)用:

  • 光學(xué)涂層
  • 濺射
  • IBAD離子束輔助沉積
  • 離子束刻蝕清洗
  • 離子束輔助反應(yīng)刻蝕
  • 紅外涂層
  • 表面處理

產(chǎn)品特點:

  • RF射頻偏壓樣品臺
  • 膜厚監(jiān)測儀
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 高精度及高重復(fù)性
  • 高品質(zhì)膜層
  • 原子級的潔凈表面
  • 原子級清洗和拋光
  • 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機(jī)全自動控制
  • 自動上下載片
  • 兩個腔體之間自動傳送
  • 菜單驅(qū)動,,4級密碼訪問保護(hù)
  • 完整的安全聯(lián)鎖
  • 占地面積46”D x 44”W

選配項:

  • 向下/向上濺射
  • 共濺射
  • DC,,RF以及脈沖電源
  • 離子束輔助沉積
  • 電子束源
  • 等離子源


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