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NPC-3000 Plasma Ashing/等離子清洗去膠機(jī)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾-馬斯特中國有限公司
  • 品牌
  • 型號 NPC-3000
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2018/5/10 9:27:02
  • 訪問次數(shù) 392

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!


NANO-MASTER(那諾-馬斯特)作為性的專業(yè)薄膜工藝系統(tǒng)的供應(yīng)商,,提供的產(chǎn)品涵蓋了沉積,、刻蝕、生長,、表面處理,、清洗、空間仿真儀器測試等類別,。

主要的設(shè)備包含有:

E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng),,Thermal熱蒸發(fā)系統(tǒng);
PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),;
PLD脈沖激光沉積系統(tǒng),,DLC類金剛石沉積系統(tǒng);
Sputering磁控濺射(DC&RF)系統(tǒng),;
Ion Beam離子束濺射/清洗/刻蝕/研磨系統(tǒng),;
RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),DRIE深硅刻蝕系統(tǒng),;
ICP電感耦合等離子系統(tǒng),;
Plasma等離子清洗/改性/去膠系統(tǒng);
ALD原子層沉積系統(tǒng),,PA-MOCVD系統(tǒng),;
CNT生長系統(tǒng),石墨烯生長系統(tǒng),;
PIII等離子注入系統(tǒng),,RTP真空退火;
Megasonic兆聲清洗/刻蝕,;
Device Testing Systems設(shè)備測試(空間仿真),;
Heated Platens等離子樣品臺等。

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的設(shè)備廣泛應(yīng)用于:LED領(lǐng)域,,MEMS領(lǐng)域,,納米技術(shù)領(lǐng)域,光電子學(xué),,光伏領(lǐng)域,,研究開發(fā)、半導(dǎo)體領(lǐng)域,,空間仿真學(xué),,新興技術(shù)等。

PECVD,,PA-MOCVD,,蒸發(fā)系統(tǒng),,離子束,ALD,,等離子源,,濺射,刻蝕,,熱真空,,兆聲清洗機(jī),雙系統(tǒng)

等離子清洗及去膠系統(tǒng)

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)等離子灰化和清洗系統(tǒng)是專門設(shè)計用來滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應(yīng)用,,從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到,。該系列的設(shè)備采用PC控制,可以配套不同的等離子源,,加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用,。


產(chǎn)品特點:

  • 臺式或獨立系統(tǒng)
  • 不銹鋼、鋁制腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
  • 兼容100級超凈間使用
  • 淋浴頭,、ICP或微波等離子源
  • 旋轉(zhuǎn)樣品臺
  • RF偏壓可PID控制加熱到300 °C或冷卻的樣品臺
  • 全自動或手動RF調(diào)諧
  • zui多可支持4MFC帶電拋光的氣體管路
  • PC計算機(jī)控制的氣動閥
  • 帶密碼保護(hù)的多級訪問控制
  • 基于LabView軟件的PC計算機(jī)全自動控制
  • 機(jī)械泵的壓力可達(dá)到10mTorr
  • 250 l/s的渦輪分子泵
  • 極限真空為5x10-7Torr
  • 完整的安全聯(lián)鎖

產(chǎn)品應(yīng)用:

  • 有機(jī)物以及無機(jī)物的殘留物去除
  • 光刻膠剝離或灰化
  • 去殘膠以及內(nèi)腐蝕(深腐蝕)應(yīng)用
  • 清洗微電子元件,,電路板上的鉆孔或銅線框架
  • 提高黏附性,消除鍵合問題
  • 塑料的表面改型:O2處理以改進(jìn)涂覆性能
  • 產(chǎn)生親水或疏水表面


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