SI FINAL CLEANER 清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中一款至關(guān)重要的后端設(shè)備。在芯片制造的復(fù)雜流程中,，它承擔(dān)著硅片清洗的關(guān)鍵任務(wù),，為芯片的高質(zhì)量生產(chǎn)提供堅(jiān)實(shí)保障。其工作原理基于的流體力學(xué)和化學(xué)作用相結(jié)合的方式,。通過(guò)精確控制的清洗溶液,，在特定溫度和流速條件下，對(duì)硅片表面進(jìn)行深度清洗,。該設(shè)備能夠有效去除光刻膠殘留,、蝕刻雜質(zhì)等各類污染物，確保硅片表面潔凈度達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，滿足半導(dǎo)體芯片對(duì)于精度和可靠性的嚴(yán)苛要求,。具有自動(dòng)化程度高,、清洗效果好、操作相對(duì)簡(jiǎn)便等顯著優(yōu)勢(shì),，在提升芯片制造效率和產(chǎn)品質(zhì)量方面發(fā)揮著重要的作用,。

下面我們給大家準(zhǔn)備了SI FINAL CLEANER 清洗機(jī)的正確使用規(guī)介紹：

（一）啟動(dòng)前準(zhǔn)備

設(shè)備檢查

確認(rèn)電源連接正常，無(wú)松動(dòng)或損壞情況,。檢查設(shè)備的管路連接是否緊密,，包括清洗溶液的進(jìn)液管、出液管以及廢水排放管等,，確保無(wú)泄漏風(fēng)險(xiǎn),。

檢查清洗機(jī)的各個(gè)部件是否處于正常狀態(tài)，如噴臂是否靈活,、密封圈是否完好等,。同時(shí)，確保設(shè)備的控制系統(tǒng)參數(shù)已根據(jù)工藝要求進(jìn)行預(yù)設(shè),，如溫度、流速,、清洗時(shí)間等參數(shù)應(yīng)準(zhǔn)確無(wú)誤,。

清洗溶液準(zhǔn)備

根據(jù)待清洗硅片的具體情況和工藝要求，選擇合適的清洗溶液,。常見(jiàn)的清洗溶液可能包含特定的化學(xué)試劑,，如酸性溶液或堿性溶液，這些溶液需按照一定比例配制,。在配制過(guò)程中,，需嚴(yán)格遵守安全操作規(guī)程，佩戴好防護(hù)裝備,，如手套,、護(hù)目鏡等，防止化學(xué)試劑濺到身上造成傷害,。將配制好的清洗溶液注入清洗機(jī)的溶液儲(chǔ)存罐中,，并確保溶液量充足，能夠滿足一次完整的清洗過(guò)程,。

（二）清洗操作流程

硅片裝載

打開(kāi)清洗機(jī)的工作艙門(mén),，將需要清洗的硅片小心放置在清洗架上。在放置過(guò)程中,，要注意避免硅片之間的碰撞和刮擦,，防止硅片表面產(chǎn)生新的劃痕或損傷。確保硅片放置平穩(wěn)且位置正確,，以便清洗溶液能夠均勻地作用于硅片表面,。

啟動(dòng)清洗程序

關(guān)閉工作艙門(mén),，在設(shè)備的控制面板上選擇預(yù)先設(shè)定好的清洗程序。然后按下啟動(dòng)按鈕,，設(shè)備將自動(dòng)開(kāi)始運(yùn)行,。在清洗過(guò)程中，清洗溶液將從噴臂中均勻噴灑在硅片表面,，同時(shí),，噴臂會(huì)在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下緩慢旋轉(zhuǎn)，確保硅片的各個(gè)部位都能得到充分清洗,。清洗時(shí)間和溫度會(huì)根據(jù)預(yù)設(shè)參數(shù)自動(dòng)控制,，一般情況下，清洗溫度可能會(huì)根據(jù)清洗溶液的特性和工藝要求在一定范圍內(nèi)調(diào)整,，如 50 - 80 攝氏度不等,，清洗時(shí)間可能在 10 - 30 分鐘之間。

清洗過(guò)程監(jiān)控

在清洗過(guò)程中,，操作人員應(yīng)密切關(guān)注設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),。通過(guò)觀察窗觀察清洗艙內(nèi)的情況，注意是否有異常的泡沫產(chǎn)生,、溶液飛濺或硅片移位等情況,。同時(shí)，實(shí)時(shí)查看設(shè)備控制系統(tǒng)顯示的參數(shù),，如溫度,、流速、壓力等,，確保這些參數(shù)在正常范圍內(nèi),。如果發(fā)現(xiàn)任何異常情況，應(yīng)立即按下緊急停止按鈕,，中斷清洗過(guò)程,，并檢查設(shè)備是否存在故障。

（三）清洗結(jié)束后操作

卸片與后處理

當(dāng)清洗程序完成后,，打開(kāi)清洗機(jī)的艙門(mén),，小心地取出清洗好的硅片。將硅片放在專門(mén)的托盤(pán)上,，用去離子水進(jìn)行簡(jiǎn)單的沖洗,，以去除殘留的清洗溶液。然后將硅片放入干燥設(shè)備中進(jìn)行干燥處理,，干燥溫度和時(shí)間應(yīng)根據(jù)硅片的具體情況和工藝要求進(jìn)行設(shè)置,，一般在 100 - 120 攝氏度下干燥 10 - 15 分鐘。

設(shè)備清洗與維護(hù)

清洗結(jié)束后，需要對(duì)清洗機(jī)本身進(jìn)行清洗和維護(hù),。排空清洗艙內(nèi)殘留的清洗溶液,，然后用去離子水對(duì)清洗艙、噴臂,、管路等部件進(jìn)行沖洗,，去除附著的雜質(zhì)和化學(xué)試劑。檢查密封圈,、過(guò)濾器等部件的狀況,，如有必要，及時(shí)更換損壞的部件,。定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行全面的維護(hù)保養(yǎng),，確保設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行和清洗質(zhì)量。