NANO-MASTER Platens樣平臺

NANO-MASTER(那諾-馬斯特）Platens樣品臺，使用技術(shù),，加熱均勻性*,。NANO-MASTER的樣平臺（或稱為基板、熱板）可以加入射頻偏壓,、水冷卻,、通過模塊控制700°C范圍的溫度?；宓母叨瓤烧{(diào)節(jié),，基片可旋轉(zhuǎn)，真空腔體內(nèi)沒有任何引線,。任何地方不會出現(xiàn)短路或電弧,，因為所有引線、電熱偶和冷卻水管道都保持在大氣壓下,。NM樣品臺可以直接安裝到你的系統(tǒng)中,，無論是RIE刻蝕、ICP刻蝕,、ALE刻蝕,，還是PECVD、ALD等沉積設(shè)備中,，我們的基板都可以很方便的配套使用,。

Platens樣品臺可應(yīng)用的設(shè)備：

• RIE反應(yīng)離子刻蝕機
• ICP感應(yīng)耦合等離子刻蝕機
• ALE原子層刻蝕設(shè)備
• PECVD等離子增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備
• ALD原子層沉積設(shè)備
• 其他設(shè)備

?尺寸：

• 1-12英寸
• 可定制

Platens不同型號對應(yīng)溫度上限：

• NM-LTP，低溫?zé)岚?，z高可加熱到300°C
• NM-MTP,，中溫?zé)岚澹瑉高可加熱到500°C
• NM-HTP,，高溫?zé)岚?，z高可加熱到700°C

?Different models allow for different temperature limits:

• NM-LTP - Low Temperature Platen heatable up to 300°C
• NM-MTP - Mid Temperature Platen heatable up to 500°C
• NM-HTP - High Temperature Platen heatable up to 700°C