GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀
- 公司名稱 沈陽科晶自動化設備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地 沈陽
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2023/4/24 15:43:32
- 訪問次數(shù) 2644
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產地類別 | 國產 | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
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應用領域 | 化工,生物產業(yè),石油,地礦,電子/電池 |
GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀在真空環(huán)境中利用粒子轟擊靶材產生的濺射效應,,使得靶材原子或分子從固體表面射出,在基片上沉積形成薄膜的過程,。屬于物理氣相沉積(PVD)制備薄膜技術的一種。設計而成的簡單,、可靠,、經濟的鍍膜設備,適用于實驗室各種復合膜樣品的制備,,以及非導體材料實驗電極的制作,。GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀可用于實驗室制備掃描電鏡樣品使用,且設備體積小巧,,節(jié)約實驗室空間,;操作簡單,適合初學人員使用,。
1,、設有真空表、濺射電流表,,可實時監(jiān)控工作狀態(tài),。
2、通過調節(jié)濺射電流控制器,、微型真空氣閥,,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,,以獲得最佳鍍膜效果,。
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,,可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象,。
4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用,。
5,、根據電場中氣體電離特性,,采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈,。
6,、濺射頭采用Peltier制冷技術,可得到高性能,、精細顆粒的涂層,。
7、可用水冷濺射頭,、水冷載物臺,。
產品名稱 | GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀 | |
產品型號 | GSL-1100X-SPC-16M | |
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,,濕度55%Rh±10%Rh下使用,。 1、水:設備需選配自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) 2,、電:AC220V 50Hz,,必須有良好接地 3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),,需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) 4,、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5,、通風裝置:不需要 | |
主要參數(shù) | 1,、靶:?50mm 2、真空室:?160mm×120mm 3,、真空度:≤4×10-2mbar 4,、max電流:50mA(可選100mA) 5、可設定極*:9999s 6,、微型真空氣閥:連接?3mm軟管 7,、極限電壓:1600V DC 8、機械泵:2L/s | |
產品規(guī)格 | 尺寸:360mm×300mm×380mm,。 | |
標準配件 | 1,、金靶材1個 2、進氣針閥1個 3,、保險絲2個 | |
可選配件 | 金,、銦、銀,、鉑等各種靶材 |