蒸發(fā)鍍膜儀的核心在于利用真空環(huán)境,,降低材料的蒸發(fā)溫度,,使其在相對較低的溫度下就能蒸發(fā)成氣態(tài),。這些氣態(tài)粒子在真空中擴散,,當(dāng)遇到溫度較低的基底時,便會在其表面凝結(jié),,逐漸形成一層均勻的薄膜,。為了實現(xiàn)這一過程,通常配備有真空系統(tǒng),,以確保腔體內(nèi)達到足夠的真空度,,減少氣體分子的干擾,從而保證薄膜的純度和質(zhì)量,。
在加熱蒸發(fā)材料方面,,常見的方式有電阻加熱、電子束加熱等,。電阻加熱是通過電流流過特定的加熱元件,,如鎢絲、鉬舟等,,使其產(chǎn)生高溫,,進而加熱蒸發(fā)材料。這種方式簡單易行,,適用于多種材料的蒸發(fā),。而電子束加熱則是利用高能電子束直接轟擊蒸發(fā)材料,使其局部熔化并蒸發(fā),。電子束加熱具有能量集中,、可準確控制等優(yōu)點,特別適用于高熔點材料的蒸發(fā)。
蒸發(fā)鍍膜儀的校準方法:
-真空度校準:
-使用標(biāo)準的真空計對蒸發(fā)鍍膜儀的真空度進行校準,。將標(biāo)準真空計與鍍膜儀的真空系統(tǒng)連接,,在相同的條件下(如相同的抽氣時間和功率等),比較兩者的讀數(shù),。如果讀數(shù)存在差異,,可以通過調(diào)整鍍膜儀上的真空度顯示參數(shù),使其與標(biāo)準真空計的讀數(shù)一致,。
-對于一些高精度的蒸發(fā)鍍膜儀,可能需要定期將儀器送到專業(yè)的計量機構(gòu)進行真空度校準,,以確保其準確性和可靠性,。
-溫度校準:
-利用標(biāo)準溫度計(如熱電偶或熱電阻溫度計)對蒸發(fā)源的溫度進行校準。將標(biāo)準溫度計與蒸發(fā)源緊密接觸,,設(shè)置不同的加熱溫度,,比較標(biāo)準溫度計的測量值與蒸發(fā)鍍膜儀顯示的蒸發(fā)源溫度。根據(jù)兩者之間的誤差,,調(diào)整鍍膜儀的溫度控制參數(shù),,使顯示溫度與實際溫度相符。
-對于具有多個加熱區(qū)域的蒸發(fā)鍍膜儀,,需要分別對每個加熱區(qū)域進行溫度校準,,以確保各區(qū)域的溫度均勻性和準確性。
-膜厚控制校準:
-根據(jù)膜厚監(jiān)測系統(tǒng)的工作原理,,選擇合適的校準方法,。如果是通過光學(xué)原理監(jiān)測膜厚的設(shè)備,可以使用已知折射率和厚度的薄膜樣品進行校準,。將樣品放入鍍膜儀中,,設(shè)置不同的鍍膜參數(shù),觀察膜厚監(jiān)測系統(tǒng)的顯示值與樣品實際厚度的差異,,調(diào)整監(jiān)測系統(tǒng)的參數(shù),,使其能夠準確測量膜厚。
-對于采用重量法監(jiān)測膜厚的設(shè)備,,可以使用精度較高的天平稱量鍍膜前后樣品的重量變化,,計算出實際鍍膜厚度,并與膜厚監(jiān)測系統(tǒng)的顯示值進行對比和校準,。

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