產品型號

VTC-600-1HD

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,，溫度25℃±15℃,，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1,、水：設備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）
2,、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3,、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上）,，需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）及減壓閥
4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm,，承重200kg以上
5,、通風裝置：需要

主要參數(shù)

1、電源電壓：220V  50Hz
2,、功率：<1KW（不含真空泵）
3,、腔體內徑：?300mm
4,、極限真空度：9.0×10-4Pa
5、樣品臺加熱溫度：RT-500℃,，精度±1℃（可根據(jù)實際需要提升溫度）
6,、靶槍數(shù)量：1個（可選配其他數(shù)量）
7、靶槍冷卻方式：水冷
8,、靶材尺寸：?2″,，厚度0.1-5mm（因靶材材質不同厚度有所不同）
9、直流濺射功率：500W,；射頻濺射功率：300W,。（靶電源種類可選，可選擇直流或射頻電源）
10,、載樣臺：?140mm,，可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能，以實現(xiàn)更高質量的鍍膜,。
11,、載樣臺轉速：1rpm-20rpm內可調
12、工作氣體：Ar等惰性氣體
13,、進氣氣路：質量流量計控制2路進氣,，一路為100SCCM，另一路為200SCCM,。

產品規(guī)格

1,、主機尺寸：500mm×560mm×660mm
2、整機尺寸：1300mm×660mm×1200mm
3,、重量：160kg
4,、真空室規(guī)格：φ300×300mm

標準配件

1、直流電源控制系統(tǒng)1套（可選）
2,、射頻電源控制系統(tǒng)1套（可選）
3,、冷水機1臺
4、聚酯PU管（?6mm）4m

可選配件

1,、金,、銦、銀,、白金等各種靶材,，可選配強磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜,。
2,、膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)
3、分子泵（德國進口或者國產更大抽速）