KLA Nano Indenter® G200X納米壓痕儀提供了易于使用的納米級力學(xué)測試工具，并快速,、精確地對結(jié)果進行定量分析,。G200X系統(tǒng)配置了我們性能優(yōu)秀的運動系統(tǒng)、最大的樣品裝載系統(tǒng)和高分辨率光學(xué)顯微鏡,。因為擁有InView軟件,、InQuest控制器和InForce作動器,，我們的整個壓痕產(chǎn)品線均擁有優(yōu)秀的性能。KLA Nano Indenter® G200X納米壓痕儀系統(tǒng)選件包括連續(xù)剛度測量（CSM）,、掃描探針顯微成像,、劃痕測試、頻率掃描,、電學(xué)性能測量,、快速壓痕測試和沖擊測試。

主要功能

• 電磁驅(qū)動作動器可實現(xiàn)載荷和位移的寬動態(tài)范圍控制

• 高分辨率光學(xué)顯微鏡與精密XYZ移動系統(tǒng)的結(jié)合能實現(xiàn)高精度觀察與定位測試樣本,。

• 便捷的樣品裝載臺與多樣品定位功能實現(xiàn)高通量測試,。

• 模塊選件遠(yuǎn)不止能進行壓痕測試，還可進行SPM成像,、劃痕測試,、高溫納米壓痕測量、動態(tài)壓痕測試（連續(xù)剛度測量）和快速壓痕測試等模塊化升級選件,。

• 直觀的用戶操作界面便于快速進行測試設(shè)置,；僅需點擊幾下鼠標(biāo)即可完成測試的參數(shù)設(shè)置。

• 實時高效的實驗控制,，簡單易用的測試流程開發(fā)和測試設(shè)置,。

• 全套InView軟件，包括用于分析數(shù)據(jù)和創(chuàng)建報告的ReviewData和InFocus,。

• 備受贊譽的快速納米壓痕測試可用于生成材料力學(xué)性能圖像,，并提升統(tǒng)計數(shù)據(jù)的可靠性。

• InQuest高速數(shù)字控制器,，數(shù)據(jù)采集速率最高可達100kHz,，時間常數(shù)最快為20µs。

主要應(yīng)用

• 快速硬度和模量測量（基于Oliver-Pharr模型）

• 快速材料表面力學(xué)特性成像

• ISO 14577硬度測試

• 薄膜及涂層測試

• 界面附著力測量

• 斷裂韌性測量

• 粘彈性測量,，包括損耗因子,，儲存模量和損耗模量

• 掃描探針顯微成像（3D 成像）

• 定量劃痕和摩擦磨損測試

• 高溫納米壓痕測試

• I-V測試

行業(yè)分布

• 高校、科研實驗室和研究所

• 半導(dǎo)體與封裝產(chǎn)業(yè)

• PVD/CVD硬質(zhì)涂層（DLC,、TiN）

• MEMS：微機電系統(tǒng)/納米級通用測試

• 陶瓷與玻璃

• 金屬與合金

• 制藥

• 涂層與油漆

• 復(fù)合材料

• 電池與儲能

• 汽車與航空航天