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KLA Zeta™-388光學(xué)輪廓儀提供3D量測和成像功能，與集成防震臺和晶圓操作系統(tǒng)結(jié)合,，可實現(xiàn)全自動測量,。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技術(shù)...

KLA Zeta™-300光學(xué)輪廓儀可提供3D 量測和成像功能,，與集成式防震臺和靈活的配置相結(jié)合,，可以處理更大的樣品,。該系統(tǒng)采用ZDot&trade...

全新的KLA Zeta™-Solar光學(xué)輪廓儀專為滿足優(yōu)良金屬化工藝中對于細柵線,、接觸墊和主柵線的測量需求而設(shè)計,。更為優(yōu)良的3D 成像技術(shù)，以及最大...

KLA Zeta™-20光學(xué)輪廓儀是一個高度集成的光學(xué)輪廓顯微鏡,，可在緊湊,、耐用的包裝下提供3D量測和成像功能。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技...

KLA Filmetrics® Profilm3D® 光學(xué)輪廓儀和 Profilm3D-200 光學(xué)輪廓儀經(jīng)濟實惠,，是一套非接觸式基于白光干...