KLA iMicro納米壓痕儀標配InForce 1000作動器,，用于進行納米壓痕和納米力學(xué)試驗,，并可選配InForce 50作動器用于測試較軟的材料。InView 軟件包靈活,、現(xiàn)代,，讓用戶輕松進行納米尺度測試。KLA iMicro納米壓痕儀是一款緊湊型測試平臺,，其箱體中內(nèi)置高速InQuest控制器和隔振框架,。各種不同的材料和器件均可以進行測試，包括金屬,、陶瓷,、復(fù)合材料、薄膜,、涂層,、聚合物、生物材料和凝膠等,。

產(chǎn)品特色

• InForce 1000作動器采用電容式位移傳感和電磁力驅(qū)動,，且壓頭易于更換

• InForce 50作動器選件，提供最大50mN的法向力,，可用于測量較軟的材料,；Gemini 2D作動器選件,，可實現(xiàn)兩個方向的動態(tài)測量的壓頭校準系統(tǒng)，集成在軟件中,，可實現(xiàn)快速,、準確的壓頭校準

• InQuest高速控制器電路，數(shù)據(jù)采集速率可達100kHz,，時間常數(shù)最快為20µs

• XY運動系統(tǒng)以及易于安裝的磁性樣品臺

• 高剛度框架,，且集成隔振功能

• 集成顯微鏡，數(shù)字變焦,，可實現(xiàn)精確的壓痕定位

• 符合ISO 14577等標準的測試方法

• InView軟件包,，包含RunTest、ReviewData,、InFocus,、InView University在線培訓(xùn)和InView移動應(yīng)用程序

產(chǎn)品應(yīng)用

• 硬度和模量測量（基于Oliver-Pharr模型）

• 快速材料力學(xué)性能成像

• ISO 14577 硬度測試

• 聚合物損耗因子、儲存模量和損耗模量

• 定量的劃痕和磨損測試

• 高溫納米壓痕測試

適用行業(yè)

• 大學(xué),、科研實驗室和研究所

• 半導(dǎo)體與封裝產(chǎn)業(yè)

• PVD/CVD 硬質(zhì)涂層（DLC,、TiN）

• MEMS：微機電系統(tǒng)/納米力學(xué)試驗

• 陶瓷與玻璃

• 金屬與合金

• 制藥

• 涂層 涂料

• 復(fù)合材料

• 電池與儲能

• 汽車與航空航天