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NIE-4000IBE離子束刻蝕系統(tǒng):如銅和金等金屬不含揮發(fā)性化合物,,這些金屬的刻蝕無法在RIE系統(tǒng)中完成,。然而通過加速的Ar離子進(jìn)行物理刻蝕則是可能的,。通常情...
NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機(jī):*進(jìn)的全自動(dòng)濺射系統(tǒng)帶有水冷或者加熱(可加熱至700度)功能;8“旋轉(zhuǎn)樣平臺(tái),可支持到3個(gè)偏軸平面磁控管,。系統(tǒng)配套...
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