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TSC-150C/200C CMP后清洗機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

CMP后清洗

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè),。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備,、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備,、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng),、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù),。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),，是創(chuàng)新型中小企業(yè),、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè),。










冷熱臺(tái),，快速退火爐，光刻機(jī),，納米壓印,、磁控濺射，電子束蒸發(fā)


該系列設(shè)備是碳化硅晶圓拋光后的專用清洗設(shè)備,，采用連線式結(jié)構(gòu),，設(shè)備加配全自動(dòng)上下片系統(tǒng)。該系列設(shè)備配有漂洗,、雙面刷洗,、兆聲清洗、N2吹干,、高速甩干功能,，集成度高,，占地面積小，濕進(jìn)干出,，適用于碳化硅晶圓拋光后的清洗,。

產(chǎn)品特點(diǎn)

全自動(dòng)系統(tǒng)

皮帶傳動(dòng)， cassette in/out 干進(jìn)干出

PLC控制系統(tǒng)

觸摸屏操作

清洗工藝

預(yù)清洗/雙面刷洗/藥液噴霧漂洗 /兆聲噴淋/高速甩干/氮?dú)獯蹈?/span>

刷子類型

PVA 刷, 雙面刷洗

性能參數(shù)

規(guī)格/參數(shù)TSC-150CTSC-200C
工藝雙面刷洗雙面刷洗
清洗工位皮帶傳送式6工位皮帶傳送式6工位
上下片全自動(dòng)全自動(dòng)
晶圓尺寸3-6 inch6-8 inch
上料位浸沒式浸沒式
漂洗（預(yù)清洗）DIW沖洗DIW沖洗
刷洗工位*22個(gè)PVA刷,，雙面刷洗2個(gè)PVA刷,，雙面刷洗
PVA刷轉(zhuǎn)速30-400 RPM30-400 RPM
兆聲清洗可選可選
氮?dú)獯蹈?/td>有有







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