產(chǎn)品應用：   

    MAS4-BE光刻系統(tǒng)一體機可實現(xiàn)一機多用,，集成化程度更高，占地面積更小,。廣泛應用于高校研究所實驗的光刻工藝,，可完成涂膠、烘烤,、曝光,、顯影工序。

工藝步驟：

涂膠（放片,、滴膠,、旋轉(zhuǎn)、取片）→烤機（放片,、烘烤,、取片）→曝光（放片、曝光,、取片）→顯影（放片,、旋轉(zhuǎn)顯影和水洗、取片）→取片（轉(zhuǎn)移下道工序）,。

控制系統(tǒng)

控制系統(tǒng)由PC和PLC控制模式,，實時顯示設備運行過程中各工藝功能執(zhí)行情況。 可實現(xiàn)自由的配方編輯,，自由修改,、編輯、存儲,、及調(diào)用工藝配方等,。 

技術參數(shù)：