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當(dāng)前位置：合肥重光電子科技有限公司>>涂膠顯影機(jī)>> MSC-200T-D針筒式滴膠旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
產(chǎn)品型號MSC-200T-D
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地合肥市
更新時間：2025-03-22 17:09:26瀏覽次數(shù)：37次
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應(yīng)用程序：
人工放置基板->啟動真空吸附->基板吸附于轉(zhuǎn)盤上 ->自動滴膠->旋轉(zhuǎn)開啟->低轉(zhuǎn)速->中 轉(zhuǎn)速->高轉(zhuǎn)速->旋轉(zhuǎn)停止->去邊->破真空->人工取件,。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
針筒式滴膠方式更適合科研和小批量生產(chǎn)，不用清洗管道,；
整機(jī)用料扎實(shí),、750W進(jìn)口伺服電機(jī)、適合更大更重樣品,；
吸盤平整度精細(xì)加工平磨,，均勻性好，可達(dá)1%以內(nèi),；
電氣獨(dú)立集成機(jī)身側(cè)面,，避免因腔體漏液到設(shè)備內(nèi)部導(dǎo)致短路風(fēng)險；
配置光膠過濾器,，清洗保養(yǎng)方便,，避免堵膠帶來飛片風(fēng)險；
真空負(fù)壓數(shù)值顯示和低真空報警,，避免因負(fù)壓不足帶來飛片風(fēng)險,；
安全措施：
功能 | 規(guī)格 |
真空檢知 | 面版上有數(shù)位顯示計，低壓報警 |
蓋子檢測 | 運(yùn)行中開蓋報警 |
防吸入光阻裝置 | 加裝于真空PUMP之前,預(yù)防光阻液吸入需定期清潔保養(yǎng) |
電控箱 | 位置放在側(cè)面,，防止漏液帶來短路風(fēng)險 |
產(chǎn)品參數(shù)：
桌上型半自動旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 操作方式 | 7寸觸控屏 |
轉(zhuǎn)速 | 20~10000rpm | 滴膠方式 | 手動滴膠/自動 | |
加速度 | 350~10000rpm/s | 編程 | 可編程50組20步 | |
減速度 | 350~10000rpm/s | 均勻性 | 1% | |
轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm | 抽氣接口 | Φ6mm快擰接口 | |
單步時間 | 3000s | 整機(jī)尺寸 | 650mm×500mm×550mm | |
基片尺寸 | 直徑≤8英寸(200mm) | 整機(jī)重量 | 55kg | |
腔體材質(zhì) | PTFE | 光刻膠容器 | 膠泵,、壓力罐、美式針筒 | |
滴膠管路 | ≤3路（背洗,、去邊可選） | 核心配件品牌 | SMC,、CKD、松下,、西門子,、小金井等 | |
排氣系統(tǒng) | 真空泵 | 干式機(jī)械泵 | ||
抽氣速率 | 50L/min | |||
供電電源 | AC220V 50/60Hz | |||
可提供12寸晶圓（均勻性＜2%）、方片,、膠泵滴膠,、壓力罐滴膠等多種滴膠方式，以滿足不同產(chǎn)量要求，更多需求可咨詢,。
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