MSC-150T可編程旋轉(zhuǎn)涂布機,，采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計，7英寸觸摸屏,，工業(yè)級直流電機及高級PLC控制,，直觀清晰的程序界面與設(shè)計，美觀大方,。適合涂膠處理? 10~150mm圓晶尺寸基片,。該旋轉(zhuǎn)涂布機結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,，可編程實現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂,。旋涂內(nèi)腔可直接取下來，方便清洗,。

產(chǎn)品參數(shù)：

適用晶元尺寸范圍：?10~150mm,；

旋涂速度：100~10000rpm；

轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm,；

旋涂加速度：100-10000rpm/s,；

最大旋涂時間：3000s；

旋涂時間精度：0.1s,；

可存儲多種不同基片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝參數(shù),。每個涂敷工藝流程可以設(shè)置多步不同的旋轉(zhuǎn)速度

產(chǎn)品外型尺寸：300mm(W)x 380mm(D) x 260mm(H)

腔體尺寸：?220mm

重量：10KG

電壓：220V/50HZ

配置：標(biāo)配吸盤一組（10、25、50,、100）mm,、無油真空泵一臺

產(chǎn)品特點：

旋涂內(nèi)腔為耐酸堿材料PTFE，

采用分體式結(jié)構(gòu),，易清潔和移動,；

7英寸彩色觸屏控制，易學(xué)易用,；

精確設(shè)置實驗參數(shù),，運行狀態(tài)實時顯示；

采用高級PLC程序控制,，可編程,，實現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂；

具有電機進膠保護功能,；管路易疏通設(shè)計,；

更多需求可咨詢，提供分體式,、嵌入式等定制