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桌上型半自動顯影機MSD-150D用于對顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝，適合硅片,、磷化銦,、碳化硅、氮化鎵等,。主要應用于4,、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業(yè)客戶,。
本司也提供8寸,、12寸桌上型顯影機，更多功能如吹氣,、背洗等請咨詢,。
桌上型半自動顯影機技術規(guī)格：
項目 | 規(guī)格 |
主體 | 外殼材質:鏡面不銹鋼 處理樣品尺寸：6寸晶圓以內 承盤:PTFE 馬達: 轉速：20-3000 R.P.M 搖臂：自動 操作界面：7寸觸摸屏 |
顯影裝置 | 藥液裝置: 顯影 x1（控溫可選） DIW x1 |
控制系統(tǒng) | 系統(tǒng): PLC 使用接口：7寸觸屏 配方:手動和自動模式 編程 : 50 組 20 步 |
安全裝置 | 晶圓承盤真空滲液保護: |
真空檢知: 數字設定:真空值下限保護 運行結束報警提示 |
附件 | 真空泵x1 顯影罐x1 去離子水罐x1 廢液桶x1 真空吸盤x1 |
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