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合肥重光電子科技有限公司

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產(chǎn)品型號(hào)MSD-150D

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地合肥市

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更新時(shí)間：2025-03-22 12:27:21瀏覽次數(shù)：10次

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涂膠顯影機(jī): 勻膠機(jī) 涂布機(jī)

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MSD-150D主要應(yīng)用于曝光后的顯影工藝,。該設(shè)備主要由顯影腔單元,、自動(dòng)擺臂單元,、以及供液系統(tǒng),、主軸系統(tǒng),、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成,，整機(jī)采用框架結(jié)構(gòu),，外表為鏡面不銹鋼,，無(wú)塵且不吸附顆粒，工作方式為手動(dòng)上下片,，自動(dòng)完成顯影工藝,。
顯影單元基片采用真空吸附加四周擋板固定方式，采用進(jìn)口伺服電機(jī),，保證轉(zhuǎn)速,、加速度、控制精度高,，重復(fù)性好,；供液系統(tǒng)采用廠務(wù)或者壓力容器直接供液方式。
控制系統(tǒng)由觸摸屏和

詳情介紹

MSD-150D用于對(duì)顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝,，適合硅片,、磷化銦、碳化硅,、氮化鎵等,。主要應(yīng)用于4,、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業(yè)客戶,。

本司提供8寸,、12寸桌上型顯影機(jī)，更多功能如吹氣,、背洗等請(qǐng)咨詢,。

技術(shù)規(guī)格：

項(xiàng)目

規(guī)格

主體

外殼材質(zhì):SUS

處理樣品尺寸：6寸以內(nèi)

承盤:PTFE

馬達(dá):

轉(zhuǎn)速：20-3000 R.P.M