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合肥重光電子科技有限公司
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當前位置：合肥重光電子科技有限公司>>涂膠顯影機>>勻膠機>> MSD-150D桌上型成像儀

桌上型成像儀

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號MSD-150D

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地合肥市

更新時間：2025-04-17 10:11:30瀏覽次數(shù)：73次

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MSD-150D主要應用于曝光后的顯影工藝,。該設(shè)備主要由顯影腔單元、自動擺臂單元,、 以及供液系統(tǒng),、主軸系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成,，整機采用框架結(jié)構(gòu),，外表為鏡面不銹鋼，無塵且不吸附顆粒,，工作方式為手動上下片,，自動完成顯影工藝。
桌上型成像儀顯影單元基片采用真空吸附加四周擋板固定方式,，采用進口伺服電機,，保證轉(zhuǎn)速、加速度,、控制精度高,，重復性好；供液系統(tǒng)采用廠務或者壓力容器直接供液方式,。

桌上型成像儀MSD-150D用于對顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝,，適合硅片、磷化銦,、碳化硅,、氮化鎵等。主要應用于4,、6寸晶圓及方片.適合高校,、研究所和企業(yè)客戶,。

本司也提供8寸、12寸桌上型顯影機,，更多功能如吹氣,、背洗等請咨詢。

桌上型成像儀技術(shù)規(guī)格：

項目

規(guī)格



主體

外殼材質(zhì):鏡面不銹鋼

處理樣品尺寸：6寸晶圓以內(nèi)

承盤:PTFE

馬達:

轉(zhuǎn)速：20-3000 R.P.M

搖臂：自動

操作界面：7寸觸摸屏


顯影裝置

藥液裝置:

顯影 x1（控溫可選）

DIW  x1



控制系統(tǒng)

系統(tǒng): PLC

使用接口：7寸觸屏

配方:手動和自動模式

編程 : 50 組 20 步



安全裝置

晶圓承盤真空滲液保護:

真空檢知:

數(shù)字設(shè)定:真空值下限保護

運行結(jié)束報警提示



附件

真空泵x1

顯影罐x1

去離子水罐x1

廢液桶x1

真空吸盤x1



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