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合肥重光電子科技有限公司
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當(dāng)前位置：合肥重光電子科技有限公司>>涂膠顯影機(jī)>>勻膠機(jī)>> SHD6-BE全柜式涂膠顯影一體機(jī)

全柜式涂膠顯影一體機(jī)

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SHD6-BE

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地合肥市

更新時(shí)間：2025-05-09 08:53:35瀏覽次數(shù)：44次

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一、概述
SHD6-BE涂膠顯影系統(tǒng)一體機(jī)主要由勻膠單元、烤膠單元,、顯影單元等部分組成,，該設(shè)備針對高校研究所實(shí)驗(yàn)室,，特點(diǎn)是占地面積小，性價(jià)價(jià)比更高,。整機(jī)采用框架結(jié)構(gòu),，外表為不銹鋼或者PP,，無塵且不吸附顆粒,，采用7寸操作界面控制,，帶FFU,、上排風(fēng)接口、腔體為黃色燈,、重力排廢接口,、且每個(gè)模塊均可獨(dú)立工作,，操作方式為手動上下樣品,。

二、產(chǎn)品工作描述

2.1工藝步驟

涂膠（放片,、滴膠,、旋轉(zhuǎn)、取片）→烤機(jī)（放片,、烘烤,、取片）→轉(zhuǎn)移下道工序（曝光）→顯影（放片、旋轉(zhuǎn)顯影和水洗,、甩干,、取片）→（轉(zhuǎn)移下道工序）。

2.2控制系統(tǒng)

控制系統(tǒng)由7寸觸摸屏和PLC控制模式,，實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行過程中各工藝功能執(zhí)行情況,。 可實(shí)現(xiàn)自由的配方編輯，自由修改、編輯,、存儲,、及調(diào)用工藝配方等。

三,、規(guī)格

項(xiàng)目/Item

規(guī)格

主體

外觀：不銹鋼

模組：勻膠,、熱板、顯影,；

旋轉(zhuǎn)涂布模塊

轉(zhuǎn)速：20-5000 R.P.M

轉(zhuǎn)速精度: ±1 rpm

加速度：350-10000RPM/S

減速度：350-10000RPM/S

時(shí)間：1-3000S

均勻性:≤2%

控制方式: PLC

配方：50組20步

附件：無油真空泵

吸盤規(guī)格（10mm,、25mm、2英寸,、4英寸,、6英寸以及嵌入式可選）

烤膠模塊

溫度范圍:RT~300℃

處理尺寸≤?200mm

溫度均勻性≤±1.5%

控溫精度±0.2℃

顯影參數(shù)

處理樣品尺寸：6寸以內(nèi)

承盤:特氟龍

轉(zhuǎn)速：20-3000 R.P.M

轉(zhuǎn)速精度：±1RPM

搖臂：自動

藥液裝置：一路顯影、一路水

配方：可多步編程和程序存儲

附件：無油真空泵一臺,；

     吸盤一只（4,、6寸兼容）

四、系統(tǒng)需求

項(xiàng)目

描述& 規(guī)格

系統(tǒng)需求

排風(fēng):160 m3/h

真空:>-60 Kpa

壓縮空氣:5kg

氮?dú)?:3kg

水4*6mm 2.0Kgf/cm2

電壓：220V\50HZ

五,、設(shè)備尺寸

5.1尺寸&重量

參考尺寸：（寬*深*高）1600*800*2000mm  

重量: 300KG

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