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當前位置：北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司>>日本EBARA荏原>> EV-X300N日本EBARA荏原 干式真空泵

日本EBARA荏原 干式真空泵

參   考   價: ￥ 13680

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號EV-X300N

品       牌EBARA/荏原

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

更新時間：2025-04-23 17:57:15瀏覽次數(shù)：94次

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產(chǎn)地類別 進口 產(chǎn)品類型 無油泵
價格區(qū)間 1萬-2萬 儀器種類 真空泵
應用領域 化工,電子/電池,航空航天,電氣,綜合
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N,，作為中等負荷工藝專用的干式真空泵,，搭載荏原有的節(jié)能技術，采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設計,，并進一步實現(xiàn)了小型化和節(jié)能化,。

日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N

日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N


產(chǎn)品介紹

作為中等負荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原有的節(jié)能技術，采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設計,，并進一步實現(xiàn)了小型化和節(jié)能化,。
通過大范圍的溫度控制，擴大了適用工藝范圍,。因同一機型能夠覆蓋多種工藝,，能夠優(yōu)化備用設備的庫存，減少用于維護和培訓的人力時間,，并且能夠靈活應對未來的工藝擴展,。此外，在所有工藝中實施最佳的溫度控制,，從而實現(xiàn)工藝耐受性的提高,，并且通過延長部件的更換周期，幫助減少TCoO,。
應對的應用例：各種蝕刻和CVD,、灰化、離子植入,、外延生長等,。

EV-X型

小型節(jié)能,，僅需一臺設備即可覆蓋廣泛的工藝流程

支持中等負荷工藝
支持高溫化控制
節(jié)能
采用標配耐腐蝕性材料
增強耐腐蝕性的選配件
不同頻率（50Hz/60Hz）下保持穩(wěn)定性能
無油
可支持CE標志/SEMI-S2/NRTL
省空間化

產(chǎn)品規(guī)格

型式EV-X100NEV-X200NEV-X300N
最大處理風量(L/min)10,00020,00030,000
到達壓力(Pa)0.50.50.5
電源規(guī)格3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)
到達底壓時消耗電力(kW)*0.911.5





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