作為中等負(fù)荷工藝專用的干式真空泵,，搭載荏原有的節(jié)能技術(shù),，采用面向自動(dòng)化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì)，并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化,。
通過大范圍的溫度控制,，擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝,，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫(kù)存,，減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間，并且能夠靈活應(yīng)對(duì)未來(lái)的工藝擴(kuò)展,。此外,，在所有工藝中實(shí)施最佳的溫度控制，從而實(shí)現(xiàn)工藝耐受性的提高,，并且通過延長(zhǎng)部件的更換周期,，幫助減少TCoO。
應(yīng)對(duì)的應(yīng)用例：各種蝕刻和CVD,、灰化,、離子植入、外延生長(zhǎng)等,。

產(chǎn)品規(guī)格