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ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 GR180A,，通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵,。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 GR90A，通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,，實現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 GR60,，通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵,。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR1200,，通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵,。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR600，通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,，實現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR300,，通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR90,，通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵,。

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ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 LS1200A，希望進一步提高排氣速度的話,，建議您搭配機械增壓泵使用,。

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ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS1200A，通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,，以防腐蝕,。

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