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ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 GR180A，通過高溫領域的泵體均熱化,，實現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 GR90A,，通過高溫領域的泵體均熱化,，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵,。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 GR60,，通過高溫領域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵,。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR1200，通過高溫領域的泵體均熱化,，實現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵,。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR600，通過高溫領域的泵體均熱化,，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵,。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR300,，通過高溫領域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵,。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR90，通過高溫領域的泵體均熱化,，實現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR60,，通過高溫領域的泵體均熱化,，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵,。

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