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ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵

參   考   價: ￥ 56320

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號GR180A

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

更新時間：2025-05-06 17:36:29瀏覽次數(shù)：23次

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泵軸位置 其他 抽氣量 看參數(shù)
抽氣速率 看參數(shù)l/s 電壓 看參數(shù)V
功率 看參數(shù)kW 極限壓力 看參數(shù)pa
流量 看參數(shù)m3/h 排出口徑 看參數(shù)mm
輸送介質(zhì) 其他 外形尺寸 看參數(shù)
揚(yáng)程 看參數(shù)m 葉輪數(shù)目 其他
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子/電池,航空航天,電氣,綜合 重量 看參數(shù)kg
最大工作壓強(qiáng) 看參數(shù)
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 GR180A,，通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,，實現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵,。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 GR180A

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 GR180A


干泵"Model:GR"是以獲得良好業(yè)績和信賴的"Model:LR/HR"為基礎(chǔ)設(shè)計的,，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計的簡單結(jié)構(gòu)的泵,。

特點

  • 可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域,，可在高負(fù)荷下持續(xù)使用。

  • 適用load lock室（裝載/卸載室）,，可實現(xiàn)高吞吐量,。

  • 感應(yīng)電機(jī)可通用

  • 可以安裝防爆電機(jī)等特殊電機(jī)（可選）

  • 采用多電壓兼容電機(jī)

用途

  • 空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣

  • 各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣

  • 真空干燥,，真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)

  • 真空氣體置換,，如真空熱隔絕和氣體填充

規(guī)格

型號GR60AGR90AGR180A
最大排氣速度50Hzm3/h(L/min)62(1030)112(1860)183(3100)
60Hzm3/h(L/min)80(1333)126(2100)237(3850)
極限壓力 *1Pa5.0
最大排氣壓力（吸入圧力）大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）Pa1.0 ~ 大氣壓
吸氣口VG50VG80
排氣口NW40
DRP表面處理〇
電機(jī)輸出 [kW]2.23.77.5
電壓 [V]50Hz200~240/380~415
60Hz200~240/380~460
質(zhì)量kg128188268
冷卻方式冷卻水
一次供給壓力		MPa0.1~0.3
冷卻水
出入口壓差		MPa>0.1
冷卻水溫度℃10~30 *2
冷卻水流量L/min>5.0
氮氣一次側(cè)
供給圧力		MPa0.1~0.5
二次側(cè)
調(diào)整圧力 *3		MPa0.05 to 0.1 (運(yùn)作時)
軸SLM5.0 *4

*1 極限壓力是氮氣（軸封氣體）為5.0 SLM時的值。
*2 不結(jié)露,。
*3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計值,。
*4 氮氣（軸封氣體）的流量固定為5.0SLM。



配件

型號材質(zhì)表面處理重量(kg)法蘭接口GR60AGR90AGR180A
消音器RS-01+
套件A		SUS304GBB處理4.1KF40〇〇-
RS-01+
套件C		SUS304GBB處理8.3KF40--〇



排氣速度曲線

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵




尺寸圖

  • GR60ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵

  • GR90AULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵

  • GR180ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵






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