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ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵

參   考   價: ￥ 57230

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號MS1200A

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

更新時間：2025-05-06 16:36:13瀏覽次數(shù)：11次

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泵軸位置 其他 抽氣量 看參數(shù)
抽氣速率 看參數(shù)l/s 電壓 看參數(shù)V
功率 看參數(shù)kW 極限壓力 看參數(shù)pa
流量 看參數(shù)m3/h 排出口徑 看參數(shù)mm
輸送介質(zhì) 其他 外形尺寸 看參數(shù)
揚(yáng)程 看參數(shù)m 葉輪數(shù)目 其他
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子/電池,航空航天,電氣,綜合 重量 看參數(shù)kg
最大工作壓強(qiáng) 看參數(shù)
ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS1200A,，通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，以防腐蝕,。

ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS1200A

ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS1200A

"Model:MS"是螺桿型干式真空泵,。在傳統(tǒng)的"Model:LS"的基礎(chǔ)上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能,。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計,。

特點(diǎn)

  • 通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，以防腐蝕,。

  • 采用ULVAC設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸,，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

  • 從大氣壓到極限壓力,，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行,。

用途

  • 半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備,、去膠設(shè)備,、等離子清洗設(shè)備等。

  • 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),，如燒結(jié)爐,、滲碳爐等。

  • 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),，如電極干燥設(shè)備,、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等,。

  • 醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等,。

規(guī)格

型式MS120AMS600AMS1200A
最大排氣速度 *1m3/h115560980
到達(dá)壓力Pa≦0.6≦0.1
電源電壓200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費(fèi)電力概略值 *2kW2.43.13.1
冷卻水量L/min>4.0
Purge gas量 *1SLM0~50
最大水蒸氣處理量 *1*3kg/h1.5
噪音值　*1dB(A)616264
吸氣口KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40
質(zhì)量 *4kg139241264
適用規(guī)格CE,、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附屬品Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本體選配件Power supply：200V Class or 400V Class
Material of seal：FKM or FFKM
外部選配件Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1：到達(dá)壓力時
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
*4：Including a silencer


排氣速度曲線

  • MS120A
    ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵

  • MA600A
    ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵

  • MS1200A
    ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵




尺寸圖

ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵





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