產(chǎn)地類別	進口	產(chǎn)品類型	無油泵
價格區(qū)間	1萬-2萬	儀器種類	真空泵
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池,航空航天,電氣,綜合

日本EBARA荏原干式真空泵 EV-X200N

日本EBARA荏原干式真空泵 EV-X200N

產(chǎn)品介紹

作為中等負荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原有的節(jié)能技術(shù),，采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計,，并進一步實現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。
通過大范圍的溫度控制,，擴大了適用工藝范圍,。因同一機型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫存,，減少用于維護和培訓(xùn)的人力時間,，并且能夠靈活應(yīng)對未來的工藝擴展。此外,，在所有工藝中實施最佳的溫度控制,，從而實現(xiàn)工藝耐受性的提高，并且通過延長部件的更換周期,，幫助減少TCoO,。
應(yīng)對的應(yīng)用例：各種蝕刻和CVD、灰化,、離子植入,、外延生長等。

EV-X型

小型節(jié)能,，僅需一臺設(shè)備即可覆蓋廣泛的工藝流程

支持中等負荷工藝

支持高溫化控制

節(jié)能

采用標(biāo)配耐腐蝕性材料

增強耐腐蝕性的選配件

不同頻率（50Hz/60Hz）下保持穩(wěn)定性能

無油

可支持CE標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL

省空間化

產(chǎn)品規(guī)格

型式	EV-X100N	EV-X200N	EV-X300N
最大處理風(fēng)量(L/min)	10,000	20,000	30,000
到達壓力(Pa)	0.5	0.5	0.5
電源規(guī)格	3相200-220V (50/60Hz)	3相200-220V (50/60Hz)	3相200-220V (50/60Hz)
到達底壓時消耗電力(kW)*	0.9	1	1.5

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