1. 產品概述：
GAMA系列6/8英寸全自動槽式清洗機滿足全部濕法工藝需求,，覆蓋RCA,、PR Strip、Solvent,、Wet Etch等應用,，可用于典型0.35um、0.18um工藝節(jié)點,，可支持90nm工藝節(jié)點,，可兼容6寸和8寸晶圓,。
2. 設備應用：
晶圓尺寸
6、8 英寸
適用材料
硅,，碳化硅,，硅基氮化鎵
適用工藝
預清洗、去膠清洗,、氮化硅去除,、金屬去除(Co,Ti)、Recycle 清洗,、拋光后清洗,、Epi 前清洗,、 Epi 后清洗
適用領域
集成電路,、襯底材料、化合物半導體,、功率半導體
3. 特色優(yōu)點：
北方華創(chuàng) GAMA Series 清洗機在腐蝕均勻性方面表現(xiàn)明顯,。腐蝕均勻性對于保證芯片制造的一致性和穩(wěn)定性具有關鍵意義。
這款清洗機通過精心設計的流體流動系統(tǒng),、化學溶液分布機制以及溫度控制策略,，確保在整個晶片表面實現(xiàn)高度均勻的腐蝕效果。無論是在大面積的晶片還是復雜的圖形結構區(qū)域,，都能保持腐蝕程度的一致性,。
可能采用了多噴頭均勻噴淋、旋轉式清洗等技術,，使化學溶液能夠均勻地覆蓋晶片表面,，避免出現(xiàn)局部腐蝕過度或不足的情況。同時,，精準的溫度控制系統(tǒng)能夠確保整個清洗過程中溫度的均勻性,，因為溫度的差異可能會影響腐蝕反應的速率和均勻性。在實際應用中,，即使面對不同材質和厚度的晶片,，該清洗機也能提供出色的腐蝕均勻性，從而有效提高芯片的質量和性能,。
4.設備特點
結構設計緊湊,，占地面積小
模塊化設計，配置靈活,、可擴展
成熟的工藝槽設計,，確保工藝穩(wěn)定性
精確的化學稱量系統(tǒng)，實現(xiàn)高質量工藝
化工儀器網