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NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2017-03-03 10:56:12瀏覽次數(shù)：1389

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NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)：帶有水冷或者加熱（Z高可加熱到700度）功能,，Z大到6“旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，Z大可支持到2個(gè)偏軸平面磁控管,。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,，極限真空可達(dá)10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空,。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離,，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

詳細(xì)介紹

磁控濺射技術(shù)

NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)概述：帶有水冷或者加熱(zui高可加熱到700度)功能,，zui大到6"旋轉(zhuǎn)平臺(tái),，zui大可支持到2個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,，極限真空可達(dá)10-7 Torr,，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離,，可以獲得想要的均勻度和沉積速度,。

NSC-1000帶有10"派熱克鐘罩腔體，2個(gè)2"的磁控管,，DC直流電源用于濺射金屬,，并帶有膜厚監(jiān)測(cè)儀(選配)。由于NSC-1000的空間有限,，我們不能在NSC-1000系統(tǒng)上提供更多的電源和磁控管,。我們可以提供我們的NSC-1000系統(tǒng)，用于SEM應(yīng)用,，也可以用于濺射金屬到zui大6"的晶圓片,。

NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：

  • 不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
  • 70l/s的渦輪分子泵,，串接機(jī)械泵或干泵
  • 1KW DC直流電源
  • 晶振夾具具有的<1 Å的厚度分辨率
  • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片
  • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)控制
  • 帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪問(wèn)控制
  • *的安全聯(lián)鎖功能

選配項(xiàng)：

  • Thickness Monitor   膜厚監(jiān)測(cè)

應(yīng)用：

  • SEM應(yīng)用
  • 濺射金屬,，zui大到6"的晶圓片

 

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