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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機
NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機產(chǎn)品特點：
- 不銹鋼,，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
- 70,，250或500 l/s的渦輪分子泵,，串接機械泵或干泵
- 13.56MHz，300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源
- 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
- 帶觀察視窗的腔門易于上下載片
- 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
- 帶密碼保護功能的多級訪問控制
- *的安全聯(lián)鎖
選配項：
- 向上,、向下或側(cè)面濺射
- RF,、DC以及脈沖DC濺射
- 共濺射、反應(yīng)濺射
- 組合濺射
- RF或DC偏壓（1000V）
- 樣品臺可加熱到700°C
- 膜厚監(jiān)測儀
- 基片的RF射頻等離子清洗
- 預(yù)真空鎖以及自動晶圓片上/下載片
應(yīng)用：
- 晶圓片,、陶瓷片,、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆
- 光學(xué)以及ITO涂覆
- 帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆
- 帶RF射頻等離子放電的反應(yīng)濺射
型號：
- NSC-4000：基于PC計算機全自動控制的獨立式系統(tǒng)
- NSC-3500：基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立式系統(tǒng)
- NSC-3000：PC計算機全自動控制的臺式系統(tǒng)
- NSC-1000：半自動控制的臺式系統(tǒng)
(以下為雙系統(tǒng)型號)
- NSR-4000：濺射/RIE系統(tǒng)
- NSP-4000：濺射/PECVD系統(tǒng)
- NST-4000：濺射/熱蒸發(fā)系統(tǒng)