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產品簡介
詳細介紹
電子束蒸發(fā)技術
NEE-4000（A）全自動電子束蒸發(fā)系統概述：NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發(fā)系統為雙腔體的配置,，其中樣品臺位于主腔體內,，二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預真空鎖,，使得電子束源腔體保持真空的情況下,，實現基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時,，他可以通過第三方的預真空鎖來實現,，這可以設置于立方體的左側。通過PC計算機控制,，系統可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力,，以及對組分或組分梯度進行編程的能力。
NEE-4000（A）全自動電子束蒸發(fā)系統特點：
- 順序蒸發(fā)或共蒸發(fā)
- 雙電子束源
- 多凹槽電子槍
- 可編程電子束掃描
- 10KW開關電源
- 渦輪分子泵,，極限真空5x10-7Torr
- 自動上下載片
- 材料和襯墊更換非常方便
- 晶振式膜厚監(jiān)測儀
- 通過LabView軟件實現PC計算機控制
- 菜單驅動,，四級訪問密碼保護
- *的安全聯鎖
Features：
- Sequential or Co-Evaporation
- Dual E-Beam Source
- Multi-Pocket E-Gun
- Programmable Beam Scan
- 10 KW Switching Power Supply
- Turbomolecular Pump, 10-7Torr
- Auto Load/Unload
- Easy Material and Liner Change
- Crystal Thickness Monitor
- PC Controlled with LabVIEW
- Recipe Driven, Password Protected
- Fully Safety Interlocked