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NEE-4000（M）電子束蒸發(fā)系統(tǒng)

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更新時間：2017-03-03 10:51:11瀏覽次數(shù)：1229

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產(chǎn)品簡介

NEE-4000（M）電子束蒸發(fā)系統(tǒng)：NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置，樣品臺位于主腔體,，二級腔體則用于安置電子束源,。兩個腔體之間的門閥可以作為預真空鎖,，使得電子束源腔體保持真空的情況下，實現(xiàn)基片通過主腔體放入基片到樣平臺（或夾具）上或從中取出,。自動裝/卸載基片可通過第三方的預真空鎖實現(xiàn),。通過PC計算機控制，系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力,，以及對組分或組分梯度進行編程的能力,。

詳細介紹

電子束蒸發(fā)技術

NEE-4000（M）電子束蒸發(fā)系統(tǒng)概述：NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置，其中樣品臺位于主腔體內(nèi),，二級腔體則用于安置電子束源,。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下,，實現(xiàn)基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出,。在需要自動裝/卸載基片時，他可以通過第三方的預真空鎖來實現(xiàn),，這可以設置于立方體的左側,。通過PC計算機控制，系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力,，以及對組分或組分梯度進行編程的能力,。

NEE-4000（M）電子束蒸發(fā)系統(tǒng)特點：

  • 順序蒸發(fā)或共蒸發(fā)
  • 雙電子束源
  • 多凹槽電子槍
  • 可編程電子束掃描
  • 10KW開關電源
  • 渦輪分子泵，極限真空5x10-7Torr
  • 手動上下載片,，帶預真空鎖
  • 材料和襯墊更換非常方便
  • 晶振式膜厚監(jiān)測儀
  • 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機控制
  • 菜單驅(qū)動,，四級訪問密碼保護
  • *的安全聯(lián)鎖

Features：

  • Sequential or Co-Evaporation 
  • Dual E-Beam Source 
  • Multi-Pocket E-Gun 
  • Programmable Beam Scan
  • 10 KW Switching Power Supply  
  • Turbomolecular Pump, 10-7Torr  
  • Manual Load/Unload w/Load Lock  
  • Easy Material and Liner Change
  • Crystal Thickness Monitor 
  • PC Controlled with LabVIEW 
  • Recipe Driven, Password Protected  
  • Fully Safety Interlocked 

 

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