產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
NEE-4000E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng)
NEE-4000E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng)概述:
NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置,,其中樣品臺(tái)位于主腔體內(nèi),,二級(jí)腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間帶有門閥作為預(yù)真空鎖,,使電子束源腔體保持真空的情況下,,通過主腔體放入基片到樣平臺(tái)(或夾具)上或從中取出。在需要自動(dòng)裝/卸載基片時(shí),,可以通過第三方的預(yù)真空鎖來實(shí)現(xiàn),。通過PC計(jì)算機(jī)控制,系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力,,以及對(duì)組分或組分梯度進(jìn)行編程的能力,。
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 順序蒸發(fā)或共蒸發(fā)
- 雙電子束源
- 多凹槽電子槍
- 可編程電子束掃描
- 10KW開關(guān)電源
- 渦輪分子泵,極限真空5x10-7Torr
- 手動(dòng)上下載片,,帶預(yù)真空鎖
- 自動(dòng)上下載片
- 材料和襯墊更換非常方便
- 晶振式膜厚監(jiān)測(cè)儀
- 通過LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)控制
- 菜單驅(qū)動(dòng),,四級(jí)訪問密碼保護(hù)
產(chǎn)品型號(hào):
- NEE-3500:計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立系統(tǒng)
- NEE-4000:計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立系統(tǒng)